三(二甲胺基)硅烷新聞專題
三（二甲胺基）硅烷的制備
相關(guān)的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作為前驅(qū)體源不僅具有較好的穩(wěn)定性、較高的蒸汽壓，而且表現(xiàn)出了相當(dāng)高的反應(yīng)性，所以這種有機(jī)硅源成了目前ALD方法沉積SiO2研究的熱點(diǎn)。
2022/10/14 17:34:28
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