三(二甲胺基)硅烷可在電子工業(yè)中，作為氣相沉積CVD薄膜技術(shù)中的前驅(qū)物使用。

物化性質(zhì)

外觀與性狀：無色液體

閃點(diǎn)：38.4oC

熔點(diǎn)：<0oC

密度：0.838 g/cm3

沸點(diǎn)：139.8oC at 760 mmHg

安全信息

海關(guān)編碼：2931900090

危險(xiǎn)品運(yùn)輸編碼：UN 1993

危險(xiǎn)類別碼：R10

特性

相關(guān)的研究表明，三（二甲胺基）硅烷作為前驅(qū)體源不僅具有較好的穩(wěn)定性、較高的蒸汽壓，而且表現(xiàn)出了相當(dāng)高的反應(yīng)性，所以這種有機(jī)硅源成了目前ALD方法沉積SiO2研究的熱點(diǎn)。

危害

三(二甲胺基)硅烷為無色、腐蝕性、伴有腥味的易燃液體。根據(jù)接觸程度可能會(huì)對(duì)人體組織產(chǎn)生不同程度的刺激或灼傷，要避免接觸。遇明火分解產(chǎn)生刺激性煙霧和有毒氣體（二甲胺、碳氧化物、硅氧化物）；易燃蒸汽密度比空氣重，會(huì)遠(yuǎn)距離傳播并發(fā)生回火。遇水反應(yīng)。泄漏對(duì)環(huán)境動(dòng)植物產(chǎn)生危害。

應(yīng)急措施

如皮膚（或頭發(fā)）沾染：立即脫掉所有沾染的衣服，用大量肥皂和水清洗皮膚/淋?。换馂?zāi)時(shí)：使用制造商/供應(yīng)商或主管部門列明適當(dāng)?shù)拿浇闇缁?；遇水可能增加危險(xiǎn)；撣掉皮膚上的細(xì)小顆粒，浸入冷水中/用濕繃帶包扎；如誤吞咽：漱口，不要誘導(dǎo)嘔吐；漱口；沾染的衣服清洗后方可重新使用；如誤吸入：將受害人轉(zhuǎn)移到空氣新鮮處，保持呼吸舒適的休息姿勢。