三(二甲胺基)硅烷
| 中文名稱 | 三(二甲胺基)硅烷 |
|---|---|
| 中文同義詞 | 三(二甲基氨基)硅烷;三(二甲氨基)硅烷;三(二甲胺基)硅烷;三(二甲胺)硅;N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺;N,N,N',N',N'',N'-六甲基硅烷三胺 |
| 英文名稱 | TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE |
| 英文同義詞 | TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE;n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethyl-silanetriamin;n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethylsilanetriamine;N,N,N’,N’,N’’,N’’-hexamethyl-Silanetriamine;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE 99+%;N,N',N''-(Silanetriyl)tris(dimethylamine);N,N',N''-Silanetriyltris(dimethylamine);TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99.9+% |
| CAS號 | 15112-89-7 |
| 分子式 | C6H19N3Si |
| 分子量 | 161.32 |
| EINECS號 | 239-165-0 |
| 相關(guān)類別 | 胺基金屬類;硅烷試劑;有機硅;電子化學品;化工原料;ALD Precursors;organosilicon compounds |
| Mol文件 | 15112-89-7.mol |
| 結(jié)構(gòu)式 |  |
三(二甲胺基)硅烷 性質(zhì)
相關(guān)的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作為前驅(qū)體源不僅具有較好的穩(wěn)定性、較高的蒸汽壓，而且表現(xiàn)出了相當高的反應(yīng)性，所以這種有機硅源成了目前ALD方法沉積SiO2研究的熱點。 一種三（二甲胺基）硅烷的制備方法，包括如下步驟：在惰性氣氛保護下，在反應(yīng)器中加入二甲胺和烴類溶劑，然后向體系中加入有機鋰化合物，制得二甲胺的鋰鹽；向體系中加入三氯硅烷；反應(yīng)結(jié)束后進行蒸餾，得到三（二甲胺基）硅烷。
安全信息
| 危險品標志 | F,C |
|---|---|
| 危險類別碼 | 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11 |
| 安全說明 | 16-26-36/37/39-45-43 |
| 危險品運輸編號 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS號 | VV5800000 |
| TSCA | Yes |
| 毒性 | rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989. |