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15112-89-7

中文名稱 三(二甲胺基)硅烷
英文名稱 TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS 15112-89-7
分子式 C6H19N3Si
分子量 161.32
MOL 文件 15112-89-7.mol
更新日期 2024/12/24 09:43:01
15112-89-7 結(jié)構(gòu)式 15112-89-7 結(jié)構(gòu)式

基本信息

中文別名
三(二甲胺)硅
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文別名
TDMAS
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
所屬類別
有機(jī)原料：無環(huán)單胺、多胺及其衍生物和鹽

物理化學(xué)性質(zhì)

熔點(diǎn)<0°C
沸點(diǎn)145 °C
密度0,838 g/cm3
折射率1.4247
閃點(diǎn)25°C
酸度系數(shù)(pKa)10.93±0.70(Predicted)
形態(tài)液體
比重0.84
顏色無色至淡黃色
敏感性對空氣敏感，濕氣敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPA化學(xué)物質(zhì)信息
危險(xiǎn)性符號(GHS)GHS hazard pictogramsGHS hazard pictogramsGHS hazard pictograms
GHS02,GHS05,GHS06
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H225-H261-H302-H311-H314-H330
危險(xiǎn)品標(biāo)志F,C
危險(xiǎn)類別碼10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號1993
WGK Germany3
RTECS號VV5800000
TSCAYes

常見問題列表

產(chǎn)品特性
相關(guān)的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作為前驅(qū)體源不僅具有較好的穩(wěn)定性、較高的蒸汽壓，而且表現(xiàn)出了相當(dāng)高的反應(yīng)性，所以這種有機(jī)硅源成了目前ALD方法沉積SiO2研究的熱點(diǎn)。 
制備
一種三（二甲胺基）硅烷的制備方法，包括如下步驟：在惰性氣氛保護(hù)下，在反應(yīng)器中加入二甲胺和烴類溶劑，然后向體系中加入有機(jī)鋰化合物，制得二甲胺的鋰鹽；向體系中加入三氯硅烷；反應(yīng)結(jié)束后進(jìn)行蒸餾，得到三（二甲胺基）硅烷。
"15112-89-7" 相關(guān)產(chǎn)品信息
1068-69-5 51364-51-3 32093-39-3 57731-40-5 52522-40-4 7289-92-1 1624-01-7