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安全データシート

1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザン

改訂日：2024-01-24版番號：1

1. 化學品及び會社情報

製品識別子

  • 製品名: 1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザン
  • CB番號: CB9105784
  • CAS: 999-97-3
  • EINECS番號: 213-668-5
  • 同義語: ヘキサメチルジシラザン

物質(zhì)または混合物の関連する特定された用途、および推奨されない用途

  • 関連する特定用途: クロマトグラフ支持材料の非活性化、 セミコンダクター裝置製造時のシリコーンまたは酸化シリコーンのフォトレジスト圧著の推進剤
  • 推奨されない用途: なし

會社ID

  • 會社名：Chemicalbook
  • 住所：北京市海淀區(qū)上地十街匯煌國際1號棟
  • 電話：400-158-6606

2. 危険有害性の要約

GHS分類

分類実施日
GHS改訂4版を使用
平成24年。政府向けGHS分類ガイダンス(H22.7版)を使用
物理化學的危険性
引火性液體   區(qū)分2
健康に対する有害性
特定標的臓器毒性(単回ばく露)   區(qū)分1(神経系)、區(qū)分3(麻酔作用、気道刺激性)
眼に対する重篤な損傷/眼刺激性   區(qū)分2B
皮膚腐食性/刺激性   區(qū)分1
急性毒性(吸入:蒸気)   區(qū)分3
急性毒性(経皮)   區(qū)分3
急性毒性(経口)   區(qū)分4
環(huán)境に対する有害性
オゾン層への有害性   分類実施中
水生環(huán)境有害性 (長期間)   分類実施中
水生環(huán)境有害性 (急性)   分類実施中

2.2 注意書きも含むGHSラベル要素

絵表示
GHS02GHS06
注意喚起語
危険
危険有害性情報
H412 長期継続的影響によって水生生物に有害。
H311 皮膚に接觸すると有毒。
H302 + H332 飲み込んだ場合や吸入した場合は有害。
H225 引火性の高い液體及び蒸気。
注意書き
安全対策
P280 保護手袋／保護眼鏡／保護面を著用すること。
P273 環(huán)境への放出を避けること。
P271 屋外又は換気の良い場所でだけ使用すること。
P270 この製品を使用するときに、飲食又は喫煙をしないこと。
P264 取扱い後は皮膚をよく洗うこと。
P261 粉じん／煙／ガス／ミスト／蒸気／スプレーの吸入を避けること。
P243 靜電気放電に対する措置を講ずること。
P242 火花を発生させない工具を使用すること。
P241 防爆型の【電気機器／換気裝置／照明機器／機器】を使用すること。
P240 容器を接地しアースをとること。
P233 容器を密閉しておくこと。
P210 熱、高溫のもの、火花、裸火及び他の著火源から遠ざけること。禁煙。
応急措置
P304 + P340 + P312 吸入した場合：空気の新鮮な場所に移し，呼吸しやすい姿勢で休息させること。 気分が悪いときは醫(yī)師に連絡(luò)すること。
P303 + P361 + P353 皮膚（又は髪）に付著した場合：直ちに汚染された衣類を全て脫ぐこと。皮膚を水【又はシャワー】で洗うこと。
P301 + P312 + P330 飲み込んだ場合：気分が悪いときは醫(yī)師に連絡(luò)すること?？冥颏工工挨长取?/div> 保管
P405 施錠して保管すること。
P403 + P235 換気の良い場所で保管すること。涼しいところに置くこと。
廃棄
P501 內(nèi)容物／容器を承認された処理施設(shè)に廃棄すること。

2.3 他の危険有害性

なし

3. 組成及び成分情報

  • 化學物質(zhì)?混合物の區(qū)別: 化學物質(zhì)
  • 別名: HMDS
    1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
  • 化學特性(示性式、構(gòu)造式 等）: C6H19NSi2
  • 分子量: 161.39 g/mol
  • CAS番號: 999-97-3
  • EC番號: 213-668-5
  • 化審法官報公示番號: 2-2955; 2-2044; 9-1324
  • 安衛(wèi)法官報公示番號: -

4. 応急措置

4.1 必要な応急手當

一般的アドバイス
応急措置擔當者は自分が暴露しないよう、適切な防護を行う。 この安全データシートを擔當醫(yī)に見せる。
吸入した場合
吸入後は新鮮な空気を吸うこと。呼吸停止時は人工呼吸する。必要なら酸素を吸入させる。ただちに醫(yī)師の診察を受けること。
皮膚に付著した場合
皮膚に接觸した場合: すべての汚染された衣類を直ちに脫ぐこと。 皮膚を流水/シャワーで洗うこと。 直ちに醫(yī)師を呼ぶ。
眼に入った場合
眼に觸れた後は多量の水ですすぐこと。 コンタクトレンズをはずす。
飲み込んだ場合
飲み込んだ後はただちに水を飲ませること(多くても2杯) 醫(yī)師に相談する。

4.2 急性癥狀及び遅発性癥狀の最も重要な徴候癥狀

もっとも重要な既知の徴候と癥狀は、ラベル表示(項目2.2を參照)および/または項目11に記載されている

4.3 緊急治療及び必要とされる特別処置の指示

データなし

5. 火災(zāi)時の措置

5.1 消火剤

使ってはならない消火剤
泡 水
適切な消火剤
二酸化炭素（CO2） 粉末

5.2 特有の危険有害性

周囲溫度で空気と反応して爆発性混合物を生じる。
火災(zāi)時に有害な燃焼ガスや蒸気を生じるおそれあり。
蒸気は空気より重く、床に沿って広がることがある。
逆火に注意する。
可燃性。
かなりの距離にわたり逆火が考えられる。, 火災(zāi)時に容器爆発をおこす可能性がある。
ケイ素酸化物
窒素酸化物(NOx)
炭素酸化物

5.3 消防士へのアドバイス

自給式呼吸器がある場合のみ危険區(qū)域に留まってもよい。安全なゾーンまで離れるか適切な保護衣を著用して、皮膚に觸れないようにすること。

5.4 詳細情報

容器を危険ゾーンから移動させて水で冷やすこと。 ガス／蒸気／ミストを水スプレージェットで抑える（除去する）。 消火水が、地上水または地下水のシステムを汚染しないようにする。

6. 漏出時の措置

6.1 人體に対する注意事項、保護具及び緊急時措置

救急隊員以外への助言: 蒸気、エアゾールを吸入してはならない。 觸れないようにすること。 十分な換気を確保する。 熱や発火源から遠ざける。 危険なエリアから避難し、緊急時手順に従い、専門家に相談のこと個人保護については項目 8 を參照する。

6.2 環(huán)境に対する注意事項

物質(zhì)が排水施設(shè)に流れ込まないようにする。 爆発のおそれ。

6.3 封じ込め及び浄化の方法及び機材

排水溝に蓋をすること。こぼれたら集めて結(jié)合させ、ポンプですくい取る。 物質(zhì)の制限があれば順守のこと (セクション 7、10參照) 液體吸収剤(例. Chemizorb? )で処置すること。 正しく廃棄すること。関係エリアを清掃のこと。

6.4 參照すべき他の項目

廃棄はセクション13を參照。

7. 取扱い及び保管上の注意

7.1 安全な取扱いのための予防措置

安全取扱注意事項
換気フードの下で作業(yè)すること。吸い込まないこと。 蒸気やエアロゾルが生じないようにすること。
火災(zāi)及び爆発の予防
炎、熱および発火源から遠ざける。靜電気放電に対する予防措置を講ずること。
衛(wèi)生対策
汚した衣類はただちに替えること。予防的な皮膚保護を講じること。本物質(zhì)を取り扱った後は手と顔を洗うこと。注意事項は項目2.2を參照。

7.2 配合禁忌等を踏まえた保管條件

保管クラス
保管クラス (ドイツ) (TRGS 510): 3: 可燃性液體
保管條件
窒素の元で扱い、濕気から保護すること。 窒素下に貯蔵する。容器を密閉し、乾燥した換気の良い場所に保管する。 熱や発火源から遠ざける。 鍵をかけておくか、資格のあるまたは認可された人のみが出入りできる場所に入れておく。容易に加水分解する。

7.3 特定の最終用途

項目1.2に記載されている用途以外には、その他の特定の用途が定められていない

8. ばく露防止及び保護措置

8.1 管理濃度

コンポーネント別作業(yè)環(huán)境測定パラメータ
許容濃度が設(shè)定されている物質(zhì)を含有していない。

8.2 曝露防止

適切な技術(shù)的管理
汚した衣類はただちに替えること。予防的な皮膚保護を講じること。本物質(zhì)を取り扱った後は手と顔
を洗うこと。
保護具
眼／顔面の保護
NIOSH（US）またはEN 166（EU）などの適切な政府機関の規(guī)格で試験され、認められた眼の
保護具を使用する。 保護眼鏡
皮膚及び身體の保護具
本推奨は、當社発行の安全データシート,に記載されている製品およびその指定の使用法のみに
適用される。溶解、他の物質(zhì)との混合、およびEN374に記載の逸脫條件での使用については、
CE認証手袋のサプライヤに問い合わせのこと(例. KCL GmbH, D-36124 Eichenzell, Internet:
www.kcl.de)
フルコンタクト
材質(zhì): ニトリルゴム
最小厚: 0.4 mm
破過時間: 480 min
試験物質(zhì)：Camatril? (KCL 730 / Aldrich Z677442, Size M)
本推奨は、當社発行の安全データシート,に記載されている製品およびその指定の使用法のみに
適用される。溶解、他の物質(zhì)との混合、およびEN374に記載の逸脫條件での使用については、
CE認証手袋のサプライヤに問い合わせのこと(例. KCL GmbH, D-36124 Eichenzell, Internet:
www.kcl.de)
飛沫への接觸
材質(zhì): クロロプレン
最小厚: 0.65 mm
破過時間: 240 min
試験物質(zhì)：KCL 720 Camapren?
身體の保護
難燃靜電気保護服。
呼吸用保護具
気化ガス/エアロゾル発生時に必要 次の規(guī)格に準拠しているフィルター式呼吸器保護具を推奨し
ます。DIN EN 143、DIN 14387および使用済み呼吸器保護システムに関連する他の付屬規(guī)格。
環(huán)境暴露の制御
物質(zhì)が排水施設(shè)に流れ込まないようにする。 爆発のおそれ。

9. 物理的及び化學的性質(zhì)

物理的狀態(tài)

形狀
液體(Merck (14th, 2006))
色
無色(Merck (14th, 2006))
臭い
アンモニア臭(Merck (14th, 2006))
臭いのしきい(閾)値
データなし。
pH
> 7.0(MSDS(Sigma-Aldrich) (2012))

融點?凝固點

-70℃(NFPA (14th, 2010))

沸點、初留點及び沸騰範囲

126℃(Merck(14th, 2006))

引火點

9℃(48F)(CC)(NFPA (14th, 2010))

蒸発速度(酢酸ブチル=1)

データなし。

燃焼性(固體、気體)

データなし。

燃焼又は爆発範囲

下限: 0.7% 上限:31%(NFPA (14th, 2010))

蒸気圧

13.8 mmHg(25℃)(HSDB (2004))

蒸気密度

データなし。

比重(相対密度)

0.765(20℃/4℃)(有機化合物辭典 (1985))

溶解度

エーテル、ベンゼン等の有機溶媒に易溶(有機化合物辭典 (1985))
水:392 mg/L (25℃/Estimated)(HSDB (2004))

n-オクタノール/水分配係數(shù)

log Kow = 2.62 /Estimated/(HSDB (2004))

自然発火溫度

325℃(HSDB (2004))

分解溫度

データなし。

粘度(粘性率)

0.9cSt(Merck(14th, 2006))

10. 安定性及び反応性

10.1 反応性

蒸気は空気と爆発性混合物を形成することがある。

10.2 化學的安定性

容易に加水分解する。
標準的な大気條件(室溫)で化學的に安定。

10.3 危険有害反応可能性

データなし

10.4 避けるべき條件

警告
水または濕気と接觸すると、アンモニアを生成する。

10.5 混觸危険物質(zhì)

データなし

10.6 危険有害な分解生成物

火災(zāi)の場合:項目5を參照

11. 有害性情報

急性毒性

経口
ラットのLD50値として、4件のデータ(1416 mg/kg (雄)、1904 mg/kg (雌)、774 mg/kg、851 mg/kg)(全て SIAP (2009))が報告され、いずれも區(qū)分4に該當する。なお、健康有害性に関しては、本物質(zhì)の加水分解生成物であるアンモニア(CAS番號 7664-41-7)、トリメチルシラノール (CAS番號 1066-40-6)も參照のこと。GHS分類:區(qū)分4
経皮
ウサギのLD50値として、3件のデータ(547 mg/kg(雌)、589 mg/kg(雄)、1350 mg/kg(雌雄併合))(全て SIAP (2009))が報告され、2件(同一試験の雌雄データ)は區(qū)分3、他の1件(雌雄併合データ)は區(qū)分4に該當するが、危険性の高い區(qū)分を採用し、區(qū)分3とした。GHS分類:區(qū)分3
吸入:ガス
GHSの定義における液體である。GHS分類:分類対象外
吸入:蒸気
ラットのLC50値は10 mg/L/6h(1516 ppm、4時間換算値 = 1857 ppm/4h)(SIAP (2009))に基づき、區(qū)分3とした。なお、LC50値(1516 ppm)が飽和蒸気圧濃度(18158 ppm)の90%より低いことから、気體の基準値を適用した。GHS分類:區(qū)分3
吸入:粉じん及びミスト
データなし。GHS分類:分類できない

皮膚腐食性及び刺激性

ウサギ6匹を用いたドレイズ試験で4時間適用の結(jié)果、6匹全てに重度の紅斑、中等度~重度の浮腫と壊死が認められ(IUCLID (2000))、さらに、4時間の閉塞條件下でばく露した試験(米國運輸省規(guī)制準拠)では、本物質(zhì)により壊死が発生した(SIAP (2009))との報告に基づき、區(qū)分1とした。なお、ウサギを用いた試験(OECD TG 404)で皮膚刺激性はなかったとの記載もあり、詳細不明であるが閉塞用カバーの使用が影響の程度を増強させているようである((SIAP (2009))。 GHS分類:區(qū)分1

眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性

ウサギを用いた眼刺激性試験で軽度の刺激性(slightly irritating)との結(jié)果(IUCLID (2000))があり、その他に標準的な動物試験(OECD TG405またはそれに準ずる試験法)で軽度の刺激性または刺激性なし(slightly or not irritating)であった(SIAP (2009))と記述されていることから、區(qū)分2Bとした。GHS分類:區(qū)分2B

呼吸器感作性

データなし。GHS分類:分類できない

皮膚感作性

データなし。GHS分類:分類できない

生殖細胞変異原性

in vivo試験のデータがなく分類できない。なお、in vitro試験としては、エームス試験(SIAP (2009)、NTP DB (1995))、マウスリンフォーマ試験(SIAP (2009))、およびCHO細胞を用いた染色體異常試験(NTP DB (Access on Sep. 2012))でいずれも陰性の報告がある。GHS分類:分類できない

発がん性

データなし。GHS分類:分類できない

生殖毒性

ラットの吸入ばく露による反復(fù)投與毒性?生殖発生毒性併合試験(OECD TG422)において、親動物が神経系に対する影響や體重および摂餌量の低下などの一般毒性を示した最高用量(2.66 mg/L/6h/day)で、生殖および発生に及ぼす悪影響の証拠は認められなかった(SIAP (2009))が、催奇形性を含む仔の発生に対する影響に関してはデータ不足のため「分類できない」とした。GHS分類:分類できない

特定標的臓器毒性(単回ばく露)

ラットの経口または吸入、ウサギの経皮による各経路の単回投與試験において、神経系に対する影響に符號する臨床癥狀が観察された(SIAP (2009))。ラットの吸入で影響が認められたのはガイダンス値區(qū)分1に相當する5.9 mg/L/6h(7.2 mg/L/4h)以上の濃度であり、また、ウサギの経皮投與のLD50値(547および589 mg/kg)は単回ばく露のガイダンス値範囲では區(qū)分1に相當することから、區(qū)分1(神経系)とした。また、マウスに300および450 mg/kgを経口投與により、鎮(zhèn)靜が観察され、それ以上の用量で呼吸困難、運動失調(diào)、過剰興奮に続き、正向反射の消失を伴う長時間の麻酔作用が認められた(IUCLID (2000))ことから、區(qū)分3(麻酔作用)とした。さらに、ラットに吸入ばく露した試験では、呼吸緩徐、呼吸音、および呼吸困難が観察され、気道刺激性が示唆される(SIAP (2009))との記述により、區(qū)分3(気道刺激性)とした。 GHS分類:區(qū)分1(神経系)、區(qū)分3(麻酔作用、気道刺激性)

特定標的臓器毒性(反復(fù)ばく露)

ラットの吸入ばく露による反復(fù)投與?生殖発生毒性試験併合試験(OECD TG 422)において、2.66 mg/L/6h群で投與開始直後に認められた神経癥狀(SIAP (2009))は、急性影響のため本項では分類の根拠としなかった。その他の影響として、2.66 mg/L/6h(90日換算:雄 0.82 mg/L/6h、雌 1.27 mg/L/6h)群では、體重および摂餌量の減少、血液、および血液生化學検査の指標に影響が認められ、精巣上體、肺、腎臓、および肝臓の重量変化、また、唯一の組織學的所見として雌の肝臓では小葉中心性細胞肥大が認められた(SIAP (2009))。以上の報告の範囲內(nèi)では明らかな悪影響を示す所見は見當たらないが、詳細不明であり、また、他経路のデータもないことから、データ不足で「分類できない」とした。 GHS分類:分類できない

吸引性呼吸器有害性

データなし。GHS分類:分類できない

12. 環(huán)境影響情報

12.1 生態(tài)毒性

魚毒性
半靜止試験 LC50 - Danio rerio (ゼブラフィッシュ) - 88 mg/l - 96 h
(指令 67/548/EEC, Annex V, C.1.)
ミジンコ等の水生無脊
止水式試験 EC50 - Daphnia magna (オオミジンコ) - 80 mg/l - 48 h
椎動物に対する毒性
(指令 67/548/EEC, Annex V, C.2.)
藻類に対する毒性
EC50 - Desmodesmus subspicatus (緑藻) - 19.00 mg/l - 72 h

12.2 殘留性?分解性

生分解性
好気性 - 曝露時間 28 d
結(jié)果: 15.3 % - 易分解性ではない。
(指令 67/548/EEC, Annex V, C.4.E.)

12.3 生體蓄積性

データなし

12.4 土壌中の移動性

データなし

12.5 PBT および vPvB の評価結(jié)果

化學物質(zhì)安全性評価が必要ではない/行っていないため、PBT/vPvB評価データはない。

12.6 內(nèi)分泌かく亂性

データなし

12.7 他の有害影響

データなし

13. 廃棄上の注意

13.1 廃棄物処理方法

製品
內(nèi)容物及び容器は、関連法規(guī)及び各自治體の條例等の規(guī)制に従い、産業(yè)廃棄物として適切に処理すること。

14. 輸送上の注意

14.1 國連番號

ADR/RID （陸上規(guī)制）: 3286    IMDG （海上規(guī)制）: 3286    IATA-DGR （航空規(guī)制）: 3286

14.2 國連輸送名

hexamethyldisilazane)
IATA-DGR （航空規(guī)制）: Flammable liquid, toxic, corrosive, n.o.s. (1,1,1,3,3,3-
hexamethyldisilazane)
IMDG （海上規(guī)制）: FLAMMABLE LIQUID, TOXIC, CORROSIVE, N.O.S. (1,1,1,3,3,3-
ルジシラザン)
ADR/RID （陸上規(guī)制）: FLAMMABLE LIQUID, TOXIC, CORROSIVE, N.O.S. (1,1,1,3,3,3-ヘキサメチ

14.3 輸送危険有害性クラス

(6.1, 8) (6.1)(8)
ADR/RID （陸上規(guī)制）: 3    IMDG （海上規(guī)制）: 3 (6.1   IATA-DGR （航空規(guī)制）: 3

14.4 容器等級

ADR/RID （陸上規(guī)制）: II IMDG （海上規(guī)制）: II IATA-DGR （航空規(guī)制）: II

14.5 環(huán)境危険有害性

非該當
ADR/RID: 非該當 IMDG 海洋汚染物質(zhì)(該當?非該當): IATA-DGR （航空規(guī)制）: 非該當

14.6 特別の安全対策

なし

14.7 混觸危険物質(zhì)

15. 適用法令

労働安全衛(wèi)生法

危険物?引火性の物

消防法

第4類引火性液體、第一石油類非水溶性液體

船舶安全法

引火性液體

航空法

引火性液體

16. その他の情報

略語と頭字語

LC50: 致死濃度 50%
IMDG: 國際海上危険物
IATA：國際航空運送協(xié)會
EC50: 有効濃度 50%
CAS: ケミカルアブストラクトサービス
ADR: 道路による危険物の國際輸送に関する歐州協(xié)定
TWA: 時間加重平均
STEL: 短期暴露限度
RID: 鉄道による危険物の國際運送に関する規(guī)則
LD50: 致死量 50%

參考文獻

【1】労働安全衛(wèi)生法 ウェブサイト https://www.mhlw.go.jp
【2】化學物質(zhì)審査規(guī)制法（化審法）https://www.env.go.jp
【3】化學物質(zhì)排出把握管理促進法（PRTR法） https://www.chemicoco.env.go.jp
【4】NITE化學物質(zhì)総合情報提供システム （NITE-CHRIP）https://www.nite.go.jp/
【5】カメオケミカルズ公式サイト http://cameochemicals.noaa.gov/search/simple
【6】ChemIDplus、ウェブサイト http://chem.sis.nlm.nih.gov/chemidplus/chemidlite.jsp
【7】ECHA - 歐州化學物質(zhì)庁、ウェブサイト https://echa.europa.eu/
【8】eChemPortal - OECD 化學物質(zhì)情報グローバルポータル、ウェブサイトhttp://www.echemportal.org/echemportal/index?pageID=0&request_locale=en
【9】ERG - 米國運輸省による緊急対応ガイドブック、ウェブサイトhttp://www.phmsa.dot.gov/hazmat/library/erg
【10】有害物質(zhì)に関するドイツ GESTIS データベース、ウェブサイトhttp://www.dguv.de/ifa/gestis/gestis-stoffdatenbank/index-2.jsp
【11】HSDB - 有害物質(zhì)データバンク、ウェブサイト https://toxnet.nlm.nih.gov/newtoxnet/hsdb.htm
【12】IARC - 國際がん研究機関、ウェブサイト http://www.iarc.fr/
【13】IPCS - The International Chemical Safety Cards (ICSC)、ウェブサイトhttp://www.ilo.org/dyn/icsc/showcard.home
【14】Sigma-Aldrich、ウェブサイト https://www.sigmaaldrich.com/
免責事項：

本MSDS中の情報は指定された製品にのみ適用され、特に規(guī)定がない限り、本製品とその他の物質(zhì)の混合物には適用されません。本MSDSは、製品使用者の適切な専門的なトレーニングを受けた者にのみ製品安全情報を提供します。本MSDSの使用者は、本SDSの適用性について獨自に判斷しなければならない。本MSDSの著者は、本MSDSの使用によるいかなる傷害にも責任を負わない。