真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。

1、按性能特點(diǎn)和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。

（3）高真空泵

極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。

（4）超高真空泵

極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。

2、按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類

（1）機(jī)械式容積真空泵

靠機(jī)械運(yùn)動使泵腔工作容積周期變化來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機(jī)械增壓泵外，一般均可單獨(dú)使用。

（2）射流式真空泵

沒有機(jī)械運(yùn)動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。

3、真空泵的選擇

（1）系統(tǒng)對真空度的要求

根據(jù)系統(tǒng)對真空度的要求，選擇相應(yīng)極限真空的泵。一般要求泵的極限真空比系統(tǒng)要求的極限真空高0.5~1個數(shù)量級。

（2）系統(tǒng)正常工作時的壓力范圍

要求泵正常工作的壓力范圍必須滿足系統(tǒng)所要求的工作壓力。

（3）被抽氣體種類、成分、雜質(zhì)情況及系統(tǒng)工作時對污染的限制要求

被抽氣體性質(zhì)及對污染的要求是選擇不同特性真空泵的一個重要條件。它不但與工作時泵的性能有關(guān)，而且直接與泵的工作壽命及檢修維護(hù)情況有關(guān)，特別是在化工生產(chǎn)中，它往往是正確選泵的一個關(guān)鍵因素。

（4）系統(tǒng)被抽氣量或體積流量

它是決定選擇某一類型真空泵的主要依據(jù)。