安全データシート
三弗化窒素
改訂日：2024-01-29版番號(hào)：1
製品識(shí)別子
- 製品名: 三弗化窒素
- CB番號(hào): CB7152340
- CAS: 7783-54-2
- 同義語(yǔ): 三弗化窒素
物質(zhì)または混合物の関連する特定された用途、および推奨されない用途
- 関連する特定用途: 半導(dǎo)體化學(xué)でプラズマエッチング液フッ化水素レーザー
- 推奨されない用途: なし
會(huì)社ID
- 會(huì)社名：Chemicalbook
- 住所：北京市海淀區(qū)上地十街匯煌國(guó)際1號(hào)棟
- 電話：400-158-6606
GHS分類(lèi)
分類(lèi)実施日H22.3.16、政府向けGHS分類(lèi)ガイダンス(H21.3版)を使用
物理化學(xué)的危険性
金屬腐食性物質(zhì) 分類(lèi)できない
有機(jī)過(guò)酸化物 分類(lèi)対象外
酸化性固體 分類(lèi)対象外
酸化性液體 分類(lèi)対象外
水反応可燃性化學(xué)品 分類(lèi)対象外
自己発熱性化學(xué)品 分類(lèi)対象外
自然発火性固體 分類(lèi)対象外
自然発火性液體 分類(lèi)対象外
自己反応性化學(xué)品 分類(lèi)対象外
可燃性固體 分類(lèi)対象外
引火性液體 分類(lèi)対象外
高圧ガス 高圧液化ガス
支燃性?酸化性ガス類(lèi) 區(qū)分1
可燃性?引火性エアゾール 分類(lèi)対象外
可燃性?引火性ガス 區(qū)分外
火薬類(lèi) 分類(lèi)対象外
健康に対する有害性
吸引性呼吸器有害性 分類(lèi)対象外
特定標(biāo)的臓器?全身毒性(反復(fù)ばく露) 區(qū)分2(肝臓、腎臓)
特定標(biāo)的臓器?全身毒性(単回ばく露) 區(qū)分2(血液系)
生殖毒性 分類(lèi)できない
発がん性 分類(lèi)できない
生殖細(xì)胞変異原性 分類(lèi)できない
皮膚感作性 分類(lèi)できない
呼吸器感作性 分類(lèi)できない
眼に対する重篤な損傷?眼刺激性 分類(lèi)できない
皮膚腐食性?刺激性 分類(lèi)できない
急性毒性(吸入:ミスト) 分類(lèi)対象外
急性毒性(吸入:粉じん) 分類(lèi)対象外
急性毒性(吸入:蒸気) 分類(lèi)対象外
急性毒性(吸入:ガス) 區(qū)分4
急性毒性(経皮) 分類(lèi)できない
急性毒性(経口) 分類(lèi)できない
環(huán)境に対する有害性
水生環(huán)境慢性有害性 分類(lèi)できない
水生環(huán)境急性有害性 分類(lèi)できない
ラベル要素
絵表示又はシンボル
危険
危険有害性情報(bào)
長(zhǎng)期にわたる、または、反復(fù)ばく露により肝臓、腎臓の障害のおそれ
血液系の障害のおそれ
吸入すると有害
加圧ガス:熱すると爆発のおそれ
発火または火災(zāi)助長(zhǎng)のおそれ:酸化性物質(zhì)
注意書(shū)き
內(nèi)容物、容器を都道府県知事の許可を受けた専門(mén)の廃棄物処理業(yè)者に業(yè)務(wù)委託すること。
【廃棄】
施錠して保管すること。
日光から遮斷し、換気の良い場(chǎng)所で保管すること。
換気の良い場(chǎng)所で保管すること。
【保管】
気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師の診斷、手當(dāng)てを受けること。
ばく露した時(shí)、または気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
吸入した場(chǎng)合、気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
吸入した場(chǎng)合、空気の新鮮な場(chǎng)所に移し、呼吸しやすい姿勢(shì)で休息させること。
火災(zāi)の場(chǎng)合、安全に対処できるならば漏洩を止めること。
【応急措置】
この製品を使用する時(shí)に、飲食または喫煙をしないこと。
取扱い後はよく手を洗うこと。
ガスを吸入しないこと。
屋外または換気の良い場(chǎng)所でのみ使用すること。
減圧バルブにはグリースおよび油を使用しないこと。
禁忌物質(zhì)から遠(yuǎn)ざけること。
【安全対策】
- 化學(xué)名又は一般名: 三弗化窒素
- 別名: 三フッ化窒素、トリフルオロアミン、(Trifluoroamine)、ペルフルオロアンモニア、(Perfluoroammonia)
- 分子式 (分子量): F3N(71)
- CAS番號(hào): 7783-54-2
- 官報(bào)公示整理番號(hào)(化審法?安衛(wèi)法): 化審法-(1)-1218 安衛(wèi)法-1-(3)-288
- 分類(lèi)に寄與する不純物及び安定化添加物: データなし
- 濃度又は濃度範(fàn)囲: 100%
吸入した場(chǎng)合
気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
空気の新鮮な場(chǎng)所に移し、呼吸しやすい姿勢(shì)で休息させること。
皮膚に付著した場(chǎng)合
気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
水と石鹸で洗うこと。
目に入った場(chǎng)合
気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
水で數(shù)分間注意深く洗うこと。
飲み込んだ場(chǎng)合
気分が悪い時(shí)は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
口をすすぐこと。
予想される急性癥狀及び遅発性癥狀
経口摂取 : データなし
眼:データなし
皮膚:データなし
吸入:データなし
最も重要な兆候及び癥狀
肝臓、腎臓に影響を與えることがある。反復(fù)あるいは長(zhǎng)期にわたる吸入ばく露によりフッ素沈著を引き起こすことがある。
応急措置をする者の保護(hù)
データなし
醫(yī)師に対する特別注意事項(xiàng)
データなし
消火剤
水噴霧、泡消火剤、粉末消火剤、炭酸ガス、乾燥砂類(lèi)
使ってはならない消火剤
棒狀放水
特有の危険有害性
それ自身は燃えないが、支燃性である。
火災(zāi)時(shí)に刺激性、腐食性及び毒性のガスを発生するおそれがある。
火炎に包まれたボンベは、安全弁から支燃性ガスの放出のおそれがある。
破裂したボンベが飛翔するおそれがある。
燃焼している可燃物の性狀に適した消化方法を利用すること
加熱により容器が爆発するおそれがある。
特有の消火方法
火を封じ込み燃焼させる。消火が必要であれば、注水又は水噴霧が推奨される。
損傷したボンベは専門(mén)家だけが取り扱う。
ガスの滯留しない場(chǎng)所で風(fēng)上より消火し、漏洩防止処置を施す。
消火後も、大量の水を用いて十分に容器を冷卻する。
安全に対処できるならば著火源を除去すること。
危険でなければ火災(zāi)區(qū)域から容器を移動(dòng)する。
容器が熱に曬されているときは、移動(dòng)させない。
消火を行う者の保護(hù)
消火作業(yè)の際は、空気呼吸器を含め適切な防護(hù)服(耐熱性)を著用する。
適切な空気呼吸器、防護(hù)服(耐熱性)を著用する。
人體に対する注意事項(xiàng)、保護(hù)具および緊急措置
密閉された場(chǎng)所は換気する。
ガスが拡散するまでその區(qū)域を立入禁止とする。
低地から離れる。
風(fēng)上に留まる。
関係者以外の立入りを禁止する。
直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩區(qū)域として隔離する。
全ての著火源を取り除く。
環(huán)境に対する注意事項(xiàng)
環(huán)境中に放出してはならない。
回収?中和
危険でなければガス漏れを止める。
封じ込め及び浄化方法?機(jī)材
可能ならば、漏洩している容器を回転させ、液體でなく気體が放出するようにする。
危険でなければ漏れを止める。
二次災(zāi)害の防止策
可燃物(木、紙、油等)は漏洩物から隔離する。
ガスが拡散するまでその場(chǎng)所を隔離する。
排水溝、下水溝、地下室あるいは閉鎖場(chǎng)所への流入を防ぐ。
すべての発火源を速やかに取除く(近傍での喫煙、火花や火炎の禁止)。
取扱い
技術(shù)的対策『8.ばく露防止及び保護(hù)措置』に記載の設(shè)備対策を行い、保護(hù)具を著用する。
局所排気?全體換気
『8.ばく露防止及び保護(hù)措置』に記載の局所排気、全體換気を行う。
安全取扱い注意事項(xiàng)
この製品を使用する時(shí)に、飲食または喫煙をしないこと。
取扱い後はよく手を洗うこと。
ガスを吸入しないこと。
屋外または換気の良い場(chǎng)所でのみ使用すること。
減圧バルブにはグリースおよび油を使用しないこと。
接觸回避
『10.安定性及び反応性』を參照。
保管
技術(shù)的対策高圧ガス法の規(guī)制に従う。
混觸危険物質(zhì)
『10.安定性及び反応性』を參照。
保管條件
禁忌物質(zhì)から離して保管すること。
容器を密閉して冷乾所にて保存すること。
容器包裝材料
データなし
管理濃度
未設(shè)定 (2009年度)
許容濃度 (ばく露限界値?生物學(xué)的ばく露指標(biāo))
日本産衛(wèi)學(xué)會(huì)未設(shè)定 (2009年度)
ACGIH
TWA 10ppm (2009年度)
設(shè)備対策
作業(yè)場(chǎng)には全體換気裝置、局所排気裝置を設(shè)置すること。
この物質(zhì)を貯蔵ないし取扱う作業(yè)場(chǎng)には洗眼器と安全シャワーを設(shè)置すること。
保護(hù)具
呼吸器の保護(hù)具適切な呼吸器保護(hù)具を著用すること。
手の保護(hù)具
適切な保護(hù)手袋を著用すること。
眼の保護(hù)具
適切な眼の保護(hù)具を著用すること。
皮膚及び身體の保護(hù)具
適切な保護(hù)衣を著用すること。
衛(wèi)生対策
取扱い後はよく手を洗うこと。
物理的狀態(tài)
形狀気體
色
無(wú)色
臭い
カビ臭 : HSDB (2009)
pH
データなし
融點(diǎn)?凝固點(diǎn)
-206.79℃ : Lide (88th, 2008)
沸點(diǎn)、初留點(diǎn)及び沸騰範(fàn)囲
-128.75℃ : Lide (88th, 2008)
引火點(diǎn)
不燃性ガス(ICSC(J) (2004)
自然発火溫度
データなし
燃焼性(固體、ガス)
データなし
爆発範(fàn)囲
データなし
蒸気圧
データなし
蒸気密度
データなし
蒸発速度(酢酸ブチル=1)
データなし
比重(密度)
1.885g/cm3 (-129℃)(liq) : HSDB (2009)
溶解度
水に不溶 : Merck (14th, 2006)
データなし
オクタノール?水分配係數(shù)
データなし
分解溫度
データなし
粘度
データなし
粉じん爆発下限濃度
データなし
最小発火エネルギー
データなし
體積抵抗率(導(dǎo)電率)
データなし
安定性
法規(guī)制に従った保管及び取扱においては安定と考えられる
危険有害反応可能性
加熱により分解し、フッ化物を含む有毒なヒュームを生じる。強(qiáng)力な酸化剤で、可燃性物質(zhì)や還元性物質(zhì)と反応する。アンモニア、一酸化炭素、ジボラン、水素、硫化水素、メタン、テトラフルオロヒドラジンと激しく反応し、爆発の危険をもたらす。金屬を侵す。電気の火花により分解する。加熱すると、破裂の危険を伴う圧力上昇が起こる。
避けるべき條件
加熱、電気の火花
混觸危険物質(zhì)
可燃性物質(zhì)や還元性物質(zhì)、アンモニア、一酸化炭素、ジボラン、水素、硫化水素、メタン、テトラフルオロヒドラジン
危険有害な分解生成物
フッ化物を含む有毒なヒューム
急性毒性
経口データなし
経皮
データなし
吸入
吸入(粉じん?ミスト): GHSの定義におけるガスである。
吸入(蒸気): GHSの定義におけるガスである。
吸入(ガス): ラットのLC50値 6700 pm/1hr (3350 ppm/4hr)(ACGIH (2001))に基づき、區(qū)分4とした。
皮膚腐食性?刺激性
データなし
眼に対する重篤な損傷?刺激性
データなし
呼吸器感作性又は皮膚感作性
皮膚感作性:データなし
呼吸器感作性:データなし
生殖細(xì)胞変異原性
データなし
発がん性
データなし
生殖毒性
データなし
殘余廃棄物
廃棄においては、関連法規(guī)並びに地方自治體の基準(zhǔn)に従うこと。
廃棄の前に、可能な限り無(wú)害化、安定化及び中和等の処理を行って危険有害性のレベルを低い狀態(tài)にする。
汚染容器及び包裝
空容器を廃棄する場(chǎng)合は、內(nèi)容物を完全に除去すること。
容器は清浄にしてリサイクルするか、関連法規(guī)並びに地方自治體の基準(zhǔn)に従って適切な処分を行う。
國(guó)際規(guī)制
海上規(guī)制情報(bào)IMOの規(guī)定に従う。
UN No.
2451
Proper Shipping Name.
NITROGEN TRIFLUORIDE
Class
2.2
Sub Risk
5.1
Packing Group
-
Marine Pollutant
Not Applicable
航空規(guī)制情報(bào)
ICAO?IATAの規(guī)定に従う。
UN No.
2451
Proper Shipping Name.
Nitrogen trifluoride
Class
2.2
Sub Risk
5.1
Packing Group
-
國(guó)內(nèi)規(guī)制
陸上規(guī)制情報(bào)高圧ガス保安法の規(guī)定に従う。
海上規(guī)制情報(bào)
船舶安全法の規(guī)定に従う。
國(guó)連番號(hào)
2451
品名
三フッ化窒素
クラス
2.2
副次危険
5.1
容器等級(jí)
-
海洋汚染物質(zhì)
非該當(dāng)
航空規(guī)制情報(bào)
航空法の規(guī)定に従う。
國(guó)連番號(hào)
2451
品名
三フッ化窒素
クラス
2.2
副次危険
5.1
等級(jí)
-
特別安全対策
重量物を上積みしない。
輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
食品や飼料と一緒に輸送してはならない。
移送時(shí)にイエローカードの保持が必要。
緊急時(shí)応急措置指針?lè)?hào)
122
労働安全衛(wèi)生法
変異原性が認(rèn)められた新規(guī)化學(xué)物質(zhì)(法第57條の3第1項(xiàng)、労働基準(zhǔn)局長(zhǎng)通達(dá)) 三フッ化窒素
船舶安全法
高圧ガス(危規(guī)則第3條危険物告示別表第1)
航空法
高圧ガス(施行規(guī)則第194條危険物告示別表第1)
港則法
危険物?高圧ガス(法第21條2、則第12條、昭和54告示547別表二イ)
略語(yǔ)と頭字語(yǔ)
TWA: 時(shí)間加重平均
STEL: 短期暴露限度
RID: 鉄道による危険物の國(guó)際運(yùn)送に関する規(guī)則
LD50: 致死量 50%
LC50: 致死濃度 50%
IMDG: 國(guó)際海上危険物
IATA:國(guó)際航空運(yùn)送協(xié)會(huì)
EC50: 有効濃度 50%
CAS: ケミカルアブストラクトサービス
ADR: 道路による危険物の國(guó)際輸送に関する歐州協(xié)定
參考文獻(xiàn)
【14】Sigma-Aldrich、ウェブサイト https://www.sigmaaldrich.com/
【13】IPCS - The International Chemical Safety Cards (ICSC)、ウェブサイトhttp://www.ilo.org/dyn/icsc/showcard.home
【12】IARC - 國(guó)際がん研究機(jī)関、ウェブサイト http://www.iarc.fr/
【11】HSDB - 有害物質(zhì)データバンク、ウェブサイト https://toxnet.nlm.nih.gov/newtoxnet/hsdb.htm
【10】有害物質(zhì)に関するドイツ GESTIS データベース、ウェブサイトhttp://www.dguv.de/ifa/gestis/gestis-stoffdatenbank/index-2.jsp
【9】ERG - 米國(guó)運(yùn)輸省による緊急対応ガイドブック、ウェブサイトhttp://www.phmsa.dot.gov/hazmat/library/erg
【8】eChemPortal - OECD 化學(xué)物質(zhì)情報(bào)グローバルポータル、ウェブサイトhttp://www.echemportal.org/echemportal/index?pageID=0&request_locale=en
【7】ECHA - 歐州化學(xué)物質(zhì)庁、ウェブサイト https://echa.europa.eu/
【6】ChemIDplus、ウェブサイト http://chem.sis.nlm.nih.gov/chemidplus/chemidlite.jsp
【5】カメオケミカルズ公式サイト http://cameochemicals.noaa.gov/search/simple
【4】NITE化學(xué)物質(zhì)総合情報(bào)提供システム (NITE-CHRIP)https://www.nite.go.jp/
【3】化學(xué)物質(zhì)排出把握管理促進(jìn)法(PRTR法) https://www.chemicoco.env.go.jp
【2】化學(xué)物質(zhì)審査規(guī)制法(化審法)https://www.env.go.jp
【1】労働安全衛(wèi)生法 ウェブサイト https://www.mhlw.go.jp
免責(zé)事項(xiàng)：
本MSDS中の情報(bào)は指定された製品にのみ適用され、特に規(guī)定がない限り、本製品とその他の物質(zhì)の混合物には適用されません。本MSDSは、製品使用者の適切な専門(mén)的なトレーニングを受けた者にのみ製品安全情報(bào)を提供します。本MSDSの使用者は、本SDSの適用性について獨(dú)自に判斷しなければならない。本MSDSの著者は、本MSDSの使用によるいかなる傷害にも責(zé)任を負(fù)わない。