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安全データシート

トリクロロシラン

改訂日:2024-01-24版番號:1

1. 化學(xué)品及び會社情報

製品識別子

  • 製品名: トリクロロシラン
  • CB番號: CB4852559
  • CAS: 10025-78-2
  • 同義語: トリクロロシラン,三塩化シラン

物質(zhì)または混合物の関連する特定された用途、および推奨されない用途

  • 関連する特定用途: シリコン単結(jié)晶の原料、シリコンウエハーのエピタキシャル成長、高純度石英ファイバー材料 (NITE-CHRIPより引用)
  • 推奨されない用途: なし

會社ID

  • 會社名:Chemicalbook
  • 住所:北京市海淀區(qū)上地十街匯煌國際1號棟
  • 電話:400-158-6606

2. 危険有害性の要約

GHS分類

分類実施日(物化危険性及び健康有害性)
R5.3.31、政府向けGHS分類ガイダンス(令和3年度改訂版(Ver2.1))を使用 ※一部、ガイダンスVer.1.1 (GHS 4版, JIS Z7252:2014)、JIS Z7252:2019(GHS 6版準(zhǔn)拠)を採用
物理化學(xué)的危険性
引火性液體   區(qū)分1
水反応可燃性化學(xué)品   區(qū)分1
健康に対する有害性
急性毒性(経口)   區(qū)分4
急性毒性(吸入:蒸気)   區(qū)分3
皮膚腐食性/刺激性   區(qū)分1
眼に対する重篤な損傷性/眼刺激性   區(qū)分1
特定標(biāo)的臓器毒性 (単回ばく露)   區(qū)分1(呼吸器)
特定標(biāo)的臓器毒性 (反復(fù)ばく露)   區(qū)分1(呼吸器)
分類実施日(環(huán)境有害性)
マニュアル(H18.2.10版)(GHS 初版)
環(huán)境に対する有害性
-

ラベル要素

絵表示又はシンボル
GHS02GHS05GHS06
注意喚起語
危険
危険有害性情報
極めて引火性の高い液體および蒸気
水に觸れると自然発火するおそれのある可燃性/引火性
ガスを発生
飲み込むと有害
吸入すると有毒
重篤な皮膚の薬傷?眼の損傷
臓器の障害: 呼吸器系
長期にわたる、または反復(fù)暴露による臓器の障害: 呼
吸器系
注意書き
[安全対策]
熱、火花、裸火、高溫體などの著火源から遠(yuǎn)ざけること。禁煙。
激しい反応と火災(zāi)の発生の危険があるため、水と接觸させないこと。
濕気を遮斷し、不活性ガス下で取り扱うこと。
容器を密閉しておくこと。
容器および受器を接地すること。
防爆型の電気機(jī)器、換気裝置、照明機(jī)器を使用すること?;鸹à虬k生させない
工具を使用すること。靜電気放電に対する予防措置を講ずること。
ミスト、蒸気、スプレーを吸入しないこと。
屋外または換気の良い場所でのみ使用すること。
この製品を使用する時に、飲食または喫煙をしないこと。
取扱い後は手や顔をよく洗うこと。
呼吸用保護(hù)具を著用すること。
保護(hù)手袋、保護(hù)衣、保護(hù)面を著用すること。
[応急措置]
飲み込んだ場合:口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。直ちに醫(yī)師に連絡(luò)
すること。
皮膚(または髪)に付著した場合:直ちに、汚染された衣類をすべて脫ぐこと。
皮膚を流水、シャワーで洗うこと。直ちに醫(yī)師に連絡(luò)すること。汚染された衣
類を再使用する場合には洗濯すること。
吸入した場合:空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させるこ
と。直ちに醫(yī)師に連絡(luò)すること。
眼に入った場合:水で數(shù)分間注意深く洗うこと。コンタクトレンズを著用して
いて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。直ちに醫(yī)師に
連絡(luò)すること。
暴露または暴露の懸念がある場合:醫(yī)師に連絡(luò)すること。
固著していない粒子を皮膚から払いのけ、冷たい水に浸すこと/濕った包帯で
覆うこと。
火災(zāi)の場合:消火するために粉末、乾燥砂を使用すること。
[保管]
乾燥した場所または密閉容器に保管すること。
容器を密閉して換気の良いところで保管すること。
施錠して保管すること。
[廃棄]
內(nèi)容物や容器を、都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業(yè)者に委託す
ること。

3. 組成及び成分情報

  • 化學(xué)物質(zhì)/混合物の區(qū)別: : 化學(xué)物質(zhì)
  • 化學(xué)名又は一般名: : トリクロロシラン
  • 濃度又は濃度範(fàn)囲: : >98.0%(T)
  • CAS RN: : 10025-78-2
  • 化學(xué)式: : HCl3Si
  • 官報公示整理番號 化審法: : (1)-224
  • 官報公示整理番號 安衛(wèi)法: : 公表化學(xué)物質(zhì)

4. 応急措置

吸入した場合:

被災(zāi)者を空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。直ち
に醫(yī)師に連絡(luò)すること。

皮膚に付著した場合:

直ちに、汚染された衣類をすべて脫ぐこと、取り除くこと。多量の水と石鹸で
洗うこと。直ちに醫(yī)師に連絡(luò)すること。

目に入った場合:

水で數(shù)分間注意深く洗うこと。コンタクトレンズを容易にはずせる場合は外し
て洗うこと。直ちに醫(yī)師に連絡(luò)すること。

飲み込んだ場合:

直ちに醫(yī)師に連絡(luò)すること。口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。

応急措置をする者の保護(hù):

救助者はゴム手袋、密閉ゴーグルなどの保護(hù)具を著用する。

5. 火災(zāi)時の措置

適切な消火剤:

粉末, 乾燥砂

使ってはならない消火剤:

火災(zāi)時の特定危険有害性:

燃焼や高溫により分解し、有毒なヒュームを発生する恐れがあるので注意する。

特有の消火方法:

消火作業(yè)は、風(fēng)上から行い、周囲の狀況に応じた適切な消火方法を用いる。関係者以外は安全な場所に退去させる。周辺火災(zāi)時、容器に水を噴霧して冷卻するが、水が直接かからないようにする。安全に対処できるならば著火源を除去すること。

消火を行う者の保護(hù):

消火作業(yè)の際は、必ず保護(hù)具を著用する。

6. 漏出時の措置

人體に対する注意事項(xiàng)、保護(hù)具及び緊急時措置:

特別個人用保護(hù)具(自給式呼吸器)を著用する。
漏出場所の風(fēng)上から作業(yè)し、風(fēng)下の人を退避させる。
十分に換気を行う。
漏出した場所の周辺に、ロープを張るなどして関係者以外の立入りを禁止す
る。

環(huán)境に対する注意事項(xiàng):

製品が排水路に排出されないよう注意する。

封じ込め及び浄化の方法及び機(jī)材:

乾燥砂、不燃性吸収剤などに吸収させて密閉できる容器に回収する。
大量の流出には盛土で囲って流出を防止する。
付著物、回収物などは、関係法規(guī)に基づき速やかに処分する。

二次災(zāi)害の防止策:

水と接觸させないこと。
付近の著火源、高溫體などを速やかに取り除く。
著火した場合に備えて、消火用器材を準(zhǔn)備する。
火花を発生しない安全な用具を使用する。
漏出物の除去が不完全だと、後に発火する恐れがあるので充分注意する。

7. 取扱い及び保管上の注意

取扱い

技術(shù)的対策:
取扱いは換気のよい場所で行う。適切な保護(hù)具を著用する。漏れ、あふれ、飛散しないよう注意し、みだりに蒸気を発生させない。熱、火花、裸火、高溫體などの著火源から遠(yuǎn)ざけること。禁煙。靜電気対策を行う。設(shè)備などは防爆型を用いる。取扱い後は手や顔などをよく洗う。
注意事項(xiàng):
できれば、密閉系で取扱う。蒸気やエアゾールが発生する場合には、換気、局所排気を用いる。
安全取扱い注意事項(xiàng):
皮膚、眼および衣類との接觸を避ける。容器の內(nèi)圧が高くなっている場合がある。開封は充分な注意のもとに行うこと。激しい反応と火災(zāi)の発生の危険があるため、水と接觸させないこと。使用する器具などは充分乾燥したものを用いる。不活性ガス雰囲気下で取扱う。使用した器具やウエスを放置しない。紙やウエスなどの可燃物に本品を付著させたまま放置すると発火することがあるため充分に注意する。

保管

適切な保管條件:
容器を密栓して防爆型冷蔵庫に保管する。不活性ガスを充填する。濕気を避ける。施錠して保管する。酸化剤などの混觸危険物質(zhì)から離して保管する。
避けるべき保管條件:
熱, 濕気
安全な容器包裝材料:
法令の定めるところに従う。

8. ばく露防止及び保護(hù)措置

設(shè)備対策:

密閉化した設(shè)備又は局所排気裝置を設(shè)ける。取扱い場所の近くに洗眼及び身體洗浄用の設(shè)備を設(shè)ける。

管理濃度:

設(shè)定されていない。

保護(hù)具

呼吸用保護(hù)具:
防毒マスク、自給式呼吸器、送気マスク等。
手の保護(hù)具:
不浸透性の手袋。
眼、顔面の保護(hù)具:
保護(hù)眼鏡(ゴーグル型)。狀況に応じ保護(hù)面。
皮膚及び身體の保護(hù)具:
不浸透性の保護(hù)衣。狀況に応じ、保護(hù)長靴。

9. 物理的及び化學(xué)的性質(zhì)

物理的狀態(tài)

物理狀態(tài)
液體 (20℃、1気圧) (GHS判定)
無色
臭い
刺激臭

融點(diǎn)/凝固點(diǎn)

-134 ℃(GESTIS(2022)) -126.5 ℃(ICSC(2018))

沸點(diǎn)、初留點(diǎn)及び沸騰範(fàn)囲

32 ℃(GESTIS(2022)) 31.8 ℃(ICSC(2018))

可燃性

データなし

爆発下限界及び爆発上限界/可燃限界

6.9 vol.%(GESTIS(2022)) 1.2~90.5 (vol.%) ICSC(2018)

引火點(diǎn)

<-20 ℃(Closed cup)(GESTIS(2022)) -27 ℃(Closed cup)(ICSC(2018))

自然発火點(diǎn)

195 ℃(GESTIS(2022)) 185 ℃(ICSC(2018))

分解溫度

データなし

pH

データなし

動粘性率

データなし

溶解度

水: (激しく分解) GESTIS(2022): 水 (反応する)(ICSC(2018))

n-オクタノール/水分配係數(shù)

データなし

蒸気圧

660 hPa(20℃)(GESTIS(2022)) 65.8 kPa(20℃)(ICSC(2018))

密度及び/又は相対密度

1.34 g/cm3(20℃)(GESTIS(2022)) 1.34 (ICSC(2018))

相対ガス密度

4.68 (GESTIS(2022)) 4.7 (ICSC(2018))

粒子特性

データなし

10. 安定性及び反応性

反応性:

情報なし

化學(xué)的安定性:

適切な條件下においては安定。

危険有害反応可能性:

水と接觸すると、発火または可燃性ガスを発生する危険性がある。水との接觸により分解し、有毒なガスを発生する。

避けるべき條件:

火花, 裸火, 靜電放電, 濕気

混觸危険物質(zhì):

酸化剤, 酸, 塩基, 金屬, 水, アルコール類, アミン類

危険有害な分解生成物:

塩化水素, ケイ素酸化物

11. 有害性情報

急性毒性

経口
【分類根拠】 (1) より、區(qū)分4とした。
【根拠データ】 (1) ラットのLD50:1,030 mg/kg (SIDS (2013)、HSDB (Access on July 2019))
経皮
【分類根拠】 データ不足のため分類できない。
吸入: ガス
【分類根拠】 GHSの定義における液體であり、ガイダンスの分類対象外に相當(dāng)し、區(qū)分に該當(dāng)しない。
吸入: 蒸気
【分類根拠】 (1) より、區(qū)分3とした。 なお、ばく露濃度が飽和蒸気濃度 (781,114.3 ppm) の90%よりも低いため、ミストがほとんど混在しないものとしてppmを単位とする基準(zhǔn)値を適用した。 また、舊分類が分類根拠としたRTECSはList3の情報源であり、マウスの知見であることから、今回使用しなかったため、分類結(jié)果が変更となった。
【根拠データ】 (1) ラットのLC50 (1時間): 2,767 ppm (4時間換算値: 1,383.5 ppm) (HSDB (Access on July 2019))
吸入: 粉じん及びミスト
【分類根拠】 データ不足のため分類できない。

皮膚腐食性及び皮膚刺激性

【分類根拠】 (1)~(5)より、本物質(zhì)に関する知見は少ないが、加水分解して生じる塩化水素が皮膚腐食性を示すこと、ECHA RAC Opinionにおける構(gòu)造関連物質(zhì)が皮膚腐食性を示すことからリードアクロスにより、細(xì)區(qū)分せず區(qū)分1とした。なお、新たな知見に基づき、分類結(jié)果を見直したが、変更はない(2022年度)。
【根拠データ】 (1)本物質(zhì)は水、濕気により加水分解することが知られており、CLP分類でSkin Corr. 1Aに分類されている塩化水素(CAS登録番號:7647-01-1)を生じる。水分のある條件下では塩化水素はCLP分類でSkin Corr. 1Bに分類されている塩酸となる。(ECHA RAC Opinion (2020))。 (2)構(gòu)造関連物質(zhì)であるトリクロロ(メチル)シラン(CAS登録番號:75-79-6)について、ウサギ(n=2)を用いた皮膚刺激性試験(閉塞、3分適用、24時間観察)において、適用1時間以內(nèi)に中程度の浮腫及び全層壊死がみられた(區(qū)分1Aに相當(dāng)する結(jié)果)との報告がある(ECHA RAC (Background Doc.) (2020))。 (3)構(gòu)造関連物質(zhì)であるトリクロロ(2,4,4-トリメチルペンチル)シラン(CAS登録番號:18379-25-4)について、ウサギ(n=1)を用いた皮膚刺激性試験(OECD TG 404相當(dāng)、GLP、3分適用)において、重度の紅斑、中程度の浮腫及び重度の青白化がみられた(區(qū)分1Aに相當(dāng)する結(jié)果)との報告がある(ECHA RAC (Background Doc.) (2020))。 (4)構(gòu)造関連物質(zhì)であるジクロロ(3-クロロプロピル)(メチル)シラン(CAS登録番號:7787-93-1)について、ウサギ(n=1)を用いた皮膚刺激性試験(OECD TG 404、GLP、3分適用)において、2分後に重度の紅斑、浮腫及び壊死がみられた(區(qū)分1Aに相當(dāng)する結(jié)果)との報告がある(ECHA RAC (Background Doc.) (2020))。 (5)本物質(zhì)は皮膚腐食性を示す(HSDB in PubChem (Accessed Oct. 2022))。
【參考データ等】 (6)EUではSkin Corr. 1Aに分類されている(CLP分類結(jié)果 (Accessed Oct. 2022))。

眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性

【分類根拠】 (1)、(2) より、區(qū)分1とした。
【根拠データ】 (1) 本物質(zhì)の液體へのばく露はヒトの皮膚及び眼に激しい火傷をを引き起こす (HSDB (Access on July 2019))。 (2) 本物質(zhì)は皮膚腐食性 (區(qū)分1) に區(qū)分されている。

呼吸器感作性

【分類根拠】 データ不足のため分類できない。

皮膚感作性

【分類根拠】 データ不足のため分類できない。

生殖細(xì)胞変異原性

【分類根拠】 in vivoのデータがなく、データ不足のため分類できない。
【參考データ等】 (1) 本物質(zhì)のin vivoデータはない。 (2) in vitroでは、細(xì)菌の復(fù)帰突然変異試験で陰性である (SIAP (2013))。

発がん性

【分類根拠】 データ不足のため分類できない。

生殖毒性

【分類根拠】 データ不足のため分類できない。

特定標(biāo)的臓器毒性 (単回ばく露)

【分類根拠】 (1)~(3) より、區(qū)分1 (呼吸器) とした。
【根拠データ】 (1) 本物質(zhì)は呼吸器系に強(qiáng)い刺激性を示すとの記載がある (HSDB (Access on July 2019))。 (2) 本物質(zhì)を含むクロロシランは水と反応して速やかに塩酸 (CAS番號 7647-01-0) を生成するため、本物質(zhì)の毒性影響は生體內(nèi)で生じた塩酸のばく露による気道と眼に対する影響であることが予測される。塩酸は皮膚、眼、気道に腐食性と刺激性を示す (SIAP (2013))。 (3) ラット及びマウスでは、塩酸のエアロゾルの吸入ばく露により、區(qū)分1付近の濃度で、肺胞気腫、無気肺、肺水腫による呼吸不全で死亡がみられた (SIDS (2005))。

特定標(biāo)的臓器毒性 (反復(fù)ばく露)

【分類根拠】 (1) より、本物質(zhì)へのばく露により、加水分解生成物である塩酸 (CAS番號 7647-01-0) とシラントリオール (CAS番號 2445-53-6) による影響が生じると考えられ、(2)、(3) より、ヒト及び実験動物において塩酸の腐食性または刺激性によるものと考えられる呼吸器等への影響がみられていることから、區(qū)分1 (呼吸器) とした。新たな情報を加えて検討を行い、舊分類から分類結(jié)果を変更した。
【根拠データ】 (1) 本物質(zhì)を含むクロロシランは水と反応して速やかに塩酸とシラントリオールを生成すると予測される (SIAP (2013))。 (2) 吸入により呼吸器に重度の刺激性を生じる (HSDB (Access on July 2019))。 (3) ラットに本物質(zhì)を9日間 (6時間/日、5日間/週) 吸入ばく露した結(jié)果、25 ppm (ガイダンス値換算: 0.014 mg/L、區(qū)分1の範(fàn)囲) で気道刺激、體重減少及び肺重量増加、50 ppm (ガイダンス値換算: 0.028 mg/L、區(qū)分1の範(fàn)囲) で間質(zhì)性肺炎、肺胞性組織球増多癥がみられ、100 ppm (ガイダンス値換算: 0.055 mg/L、區(qū)分1の範(fàn)囲) で75%が死亡した (HSDB (Access on July 2019))。

誤えん有害性*

【分類根拠】 データ不足のため分類できない。

* JIS Z7252の改訂により吸引性呼吸器有害性から項(xiàng)目名が変更となった。

12. 環(huán)境影響情報

生態(tài)毒性:

魚類:
情報なし
甲殻類:
情報なし
藻類:
情報なし

殘留性?分解性:

情報なし

生體蓄積性(BCF):

情報なし

土壌中の移動性

??????/水分配係數(shù):
情報なし
土壌吸著係數(shù)(Koc):
情報なし
????定數(shù)(PaM 3/mol):
情報なし

オゾン層への有害性:

情報なし

13. 廃棄上の注意

適切な保護(hù)具を著用する。
地方條例や國內(nèi)規(guī)制に従う。
空容器を処分する時は、內(nèi)容物を完全に除去した後に行う。
処理施設(shè)がないなどの理由で廃棄できない場合は、許可を受けた産業(yè)廃棄物処理業(yè)者に委託する。
<毒物及び劇物の廃棄の方法に関する基準(zhǔn)>
(トリクロロシラン)
廃棄方法:
(1)分解沈殿法
多量の水酸化ナトリウム水溶液中に徐々に吹き込んでガスを吸収させた後、希硫酸を加えて中和し、沈殿ろ
過して埋立処分する。
備考:
中和時のpHは8.5以上とする。これ以下では沈殿が完全には生成しない。

14. 輸送上の注意

國連番號:

1295

品名(國連輸送名):

Trichlorosilane

國連分類:

???4.3(水と接觸すると引火性ガスを発生する物質(zhì))

副次的危険性:

???3(引火性液體) / ???8(腐食性物質(zhì))

輸送の特定の安全対策及び條件:

運(yùn)搬に際しては容器に漏れのないことを確かめ?転倒?落下?損傷のないように
積み込み?荷崩れの防止を確実に行い?法令の定めるところに従う。

15. 適用法令

労働安全衛(wèi)生法

労働安全衛(wèi)生法に基づくラベル表示?SDS交付の義務(wù)化候補(bǔ)物質(zhì)リスト(令和4年) 危険物?引火性の物(施行令別表第1第4號)

化學(xué)物質(zhì)排出把握管理促進(jìn)法(PRTR法)

該當(dāng)しない

毒物及び劇物取締法

劇物(指定令第2條)

消防法

第3類 自然発火性物質(zhì)及び禁水性物質(zhì)(法第2條第7項(xiàng)危険物別表第1?第3類)【塩素化けい素化合物】

船舶安全法

可燃性物質(zhì)類?水反応可燃性物質(zhì)(危規(guī)則第3條危険物告示別表第1)

航空法

可燃性物質(zhì)類?水反応可燃性物質(zhì)(施行規(guī)則第194條危険物告示別表第1)

港則法

その他の危険物?可燃性物質(zhì)類(水反応可燃性物質(zhì))(法第20條第2項(xiàng)、規(guī)則第12條、危険物の種類を定める告示別表

道路法

車両の通行の制限(施行令第19條の13、(獨(dú))日本高速道路保有?債務(wù)返済機(jī)構(gòu)公示第12號?別表第2)

16. その他の情報

略語と頭字語

ADR: 道路による危険物の國際輸送に関する歐州協(xié)定
CAS: ケミカルアブストラクトサービス
EC50: 有効濃度 50%
IATA:國際航空運(yùn)送協(xié)會
IMDG: 國際海上危険物
LC50: 致死濃度 50%
LD50: 致死量 50%
RID: 鉄道による危険物の國際運(yùn)送に関する規(guī)則
STEL: 短期暴露限度
TWA: 時間加重平均

參考文獻(xiàn)

【1】労働安全衛(wèi)生法 ウェブサイト https://www.mhlw.go.jp
【2】化學(xué)物質(zhì)審査規(guī)制法(化審法)https://www.env.go.jp
【3】化學(xué)物質(zhì)排出把握管理促進(jìn)法(PRTR法) https://www.chemicoco.env.go.jp
【4】NITE化學(xué)物質(zhì)総合情報提供システム (NITE-CHRIP)https://www.nite.go.jp/
【5】カメオケミカルズ公式サイト http://cameochemicals.noaa.gov/search/simple
【6】ChemIDplus、ウェブサイト http://chem.sis.nlm.nih.gov/chemidplus/chemidlite.jsp
【7】ECHA - 歐州化學(xué)物質(zhì)庁、ウェブサイト https://echa.europa.eu/
【8】eChemPortal - OECD 化學(xué)物質(zhì)情報グローバルポータル、ウェブサイトhttp://www.echemportal.org/echemportal/index?pageID=0&request_locale=en
【9】ERG - 米國運(yùn)輸省による緊急対応ガイドブック、ウェブサイトhttp://www.phmsa.dot.gov/hazmat/library/erg
【10】有害物質(zhì)に関するドイツ GESTIS データベース、ウェブサイトhttp://www.dguv.de/ifa/gestis/gestis-stoffdatenbank/index-2.jsp
【11】HSDB - 有害物質(zhì)データバンク、ウェブサイト https://toxnet.nlm.nih.gov/newtoxnet/hsdb.htm
【12】IARC - 國際がん研究機(jī)関、ウェブサイト http://www.iarc.fr/
【13】IPCS - The International Chemical Safety Cards (ICSC)、ウェブサイトhttp://www.ilo.org/dyn/icsc/showcard.home
【14】Sigma-Aldrich、ウェブサイト https://www.sigmaaldrich.com/
免責(zé)事項(xiàng):

本MSDS中の情報は指定された製品にのみ適用され、特に規(guī)定がない限り、本製品とその他の物質(zhì)の混合物には適用されません。本MSDSは、製品使用者の適切な専門的なトレーニングを受けた者にのみ製品安全情報を提供します。本MSDSの使用者は、本SDSの適用性について獨(dú)自に判斷しなければならない。本MSDSの著者は、本MSDSの使用によるいかなる傷害にも責(zé)任を負(fù)わない。

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