四(二甲胺基)鋯,TETRAKIS(DIMETHYLAMINO)ZIRCONIUM

四(二甲胺基)鋯-電子級(jí)ALD/CVD前驅(qū)體源

價(jià)格	詢價(jià)
包裝	25g	50g	100g

最小起訂量	25g
發(fā)貨地	江蘇
更新日期	2024-08-14

產(chǎn)品詳情

中文名稱:四(二甲胺基)鋯	英文名稱:TETRAKIS(DIMETHYLAMINO)ZIRCONIUM
CAS:19756-04-8	品牌: 龍揚(yáng)生化
產(chǎn)地: 江蘇	保存條件: 常溫
純度規(guī)格: 99.9999%	產(chǎn)品類(lèi)別: ALD/CVD電子級(jí)前驅(qū)體源
別名: TDMAZ	分子式: C8H24N4Zr

對(duì)于柵介質(zhì)層，由于其厚度一般在10nm以下，ALD技術(shù)成為制備柵介質(zhì)層的首選，已經(jīng)用于Intel 45nm節(jié)點(diǎn)的MOS管的制備過(guò)程中。相較于CVD、PVD，ALD可以原子級(jí)厚度水平控制膜層的沉積，存儲(chǔ)介質(zhì)可通過(guò)ALD或CVD技術(shù)制成，而ALD具有優(yōu)越的階梯覆蓋能力，在高深寬比的DRAM中其應(yīng)用將不斷增加。

本公司提供和開(kāi)發(fā)CVD/ALD所需的前驅(qū)體源，包括可用于沉積高k柵介質(zhì)層HfO?、用于存儲(chǔ)介質(zhì)層的ZrO?、TiO?、Ta?O?等材料的前驅(qū)體。以下為本公司在售的部分前驅(qū)體材料：

介質(zhì)層	前驅(qū)體	名稱	縮寫(xiě)
HfO?	Hf[N(CH?(C?H?)]?	四（甲乙氨基）鉿	TEMAH
	Hf[N(C?H?)?]?	四（二乙氨基）鉿	TDEAH
	Hf[N(CH?)?]?	四（二甲氨基）鉿	TDMAH
	HfCl?	四氯化鉿	-
ZrO?	Zr[N(CH?)?]?	四（二甲氨基）鋯	TDMAZ
	Zr[N(C?H?)?]?	四（二乙氨基）鋯	TDEAZ
	Hf[N(CH?)(C?H?)]?	四（甲乙氨基）鋯	TEMAZ
TiO?	TiCl?	四氯化鈦	-
TiO?	Ti[N(CH?)?]?	四（二甲氨基）鈦	TDMAT
Ta?O?	Ta[N(CH?)?]?	五（二甲氨基）鉭	PDMAT

關(guān)鍵字：四(二甲胺基)鋯;TDMAZ;19756-04-8;ALD/CVD前驅(qū)體源;TETRAKIS(DIMETHYLAMI;

公司簡(jiǎn)介

蘇州龍揚(yáng)生化科技有限公司成立于 2020年 5 月，坐落于江蘇省張家港錦豐鎮(zhèn)，是目前國(guó)內(nèi)專業(yè)從事 ALD/CVD 材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的高科技企業(yè)。公司由高純電子化學(xué)品領(lǐng)域的資深專家所創(chuàng)建，具有豐富的前驅(qū)體研發(fā)和生產(chǎn)管理經(jīng)驗(yàn)。公司主要經(jīng)營(yíng)原子層淀積（ALD）及化學(xué)氣相淀積（CVD）前驅(qū)體源材料、前驅(qū)體包裝容器等，為國(guó)內(nèi)外用戶提供高純度多種類(lèi)的 ALD/CVD 源材料，以及優(yōu)質(zhì)的源瓶配套服務(wù)。目前，相關(guān)產(chǎn)品已在國(guó)內(nèi)科研院所和企業(yè)單位批量使用，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。同時(shí)與國(guó)內(nèi)外ALD/CVD設(shè)備公司以及知名大學(xué)與研究所建立了長(zhǎng)期的合作關(guān)系，時(shí)刻跟蹤行業(yè)發(fā)展動(dòng)態(tài)，為中國(guó)集成電路相關(guān)行業(yè)發(fā)展夯實(shí)基礎(chǔ)。

成立日期	2021-05-08 （4年）	注冊(cè)資本	500萬(wàn)
員工人數(shù)	1-10人	年?duì)I業(yè)額	￥ 1000萬(wàn)-5000萬(wàn)
主營(yíng)行業(yè)	納米材料,有機(jī)光電,微納米電子技術(shù),合成材料	經(jīng)營(yíng)模式	貿(mào)易,工廠,試劑,定制,服務(wù)

蘇州龍揚(yáng)生化科技有限公司

非會(huì)員

公司成立：4年
注冊(cè)資本：500萬(wàn)
企業(yè)類(lèi)型：制造商
主營(yíng)產(chǎn)品：ALD/CVD電子級(jí)前驅(qū)體源
公司地址：張家港市錦豐鎮(zhèn)興業(yè)路2號(hào)

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