中文名：鎢蝕刻劑

英文名：Tungsten etchant

中文別名：鎢腐蝕劑

貨號(hào)：T487587

包裝：500ml、100ml、25ml

產(chǎn)品介紹：

描述

鎢腐蝕劑是一種基于氫氧化鉀和鐵氰化鉀溶液的混合物，可通過(guò)將基底浸入蝕刻溶液中而有助于將鎢和鋁等材料進(jìn)行去除。

應(yīng)用

半導(dǎo)體和微電子技術(shù)中鎢薄膜金屬化的選擇性蝕刻劑。蝕刻劑是緩沖式、溫和堿性鐵氰化物配方，提供高分辨率圖案，具有最小切割和光刻膠兼容性。蝕刻劑可直接使用（不需要稀釋）?？煽?、均勻蝕刻是通過(guò)浸漬或噴霧蝕刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)的。蝕刻能力（速率在～70%時(shí)下降）為64 g/加侖。建議工作溫度：20-80 °C（30-40 °C最常用）

適用性

原理

制備說(shuō)明

1.根據(jù)下表選擇蝕刻方法

蝕刻速率（浸入）?

30°C = 55 ?/秒

80°C = 85 ?/秒?

2.用去離子水沖洗

外形

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