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NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)
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NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)

價(jià)格 詢價(jià)
包裝 1臺(tái)
最小起訂量 1臺(tái)
發(fā)貨地 上海
更新日期 2024-12-23

產(chǎn)品詳情

中文名稱:NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)產(chǎn)品類別: 刻蝕系統(tǒng) RIE-PE刻蝕機(jī)
2024-12-23 NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī) 1臺(tái)/RMB 刻蝕系統(tǒng) RIE-PE刻蝕機(jī)

NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)概述:NRE-4000是一款獨(dú)立式PE刻蝕RIE刻蝕一體機(jī),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個(gè)端口:一個(gè)帶有2"的視窗,另一個(gè)空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計(jì),并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個(gè)節(jié)流閥,一個(gè)250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個(gè)10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動(dòng)調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對(duì)于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。


NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)是基于PC控制的全自動(dòng)系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時(shí)顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時(shí)顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級(jí)訪問功能:操作員級(jí)、工程師級(jí)、工藝人員級(jí),以及維護(hù)人員級(jí).允許半自動(dòng)模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動(dòng)執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)?;谌詣?dòng)的控制,該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。


NRE-4000型產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體

  • 不銹鋼立柜

  • 支持各向同性刻蝕和各向異性刻蝕兩種模式

  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬

  • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min

  • 高達(dá)12"的陽極氧化鋁RF樣品臺(tái)

  • 水冷及加熱的RF樣品臺(tái)

  • 大的自偏壓

  • 淋浴頭氣流分布

  • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級(jí)別

  • 渦輪分子泵

  • NRE-3000至多支持4個(gè)MFC,NRE-4000至多支持8個(gè)MFC

  • 無繞曲氣體管路

  • 自動(dòng)下游壓力控制

  • 雙刻蝕能力:RIE以及PE刻蝕(可選)

  • 終點(diǎn)監(jiān)測(cè)

  • 氣動(dòng)升降頂蓋

  • 手動(dòng)或自動(dòng)上下載片

  • 預(yù)真空鎖

  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

  • 菜單驅(qū)動(dòng),4級(jí)密碼訪問保護(hù)

  • 完全的安全聯(lián)鎖

  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺(tái),用于深硅刻蝕

NRE-4000RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)產(chǎn)品型號(hào):

  • NRE-4000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 44"W

  • NRE-3500:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

  • NRE-3000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

  • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)

  • NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)



關(guān)鍵字: 帶RIE的PE刻蝕機(jī);帶PE刻蝕的RIE刻蝕機(jī);RIE刻蝕PE刻蝕一體機(jī);離子束刻蝕系統(tǒng);進(jìn)口雙模式刻蝕機(jī);進(jìn)口離子束刻蝕系統(tǒng);

公司簡(jiǎn)介

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺(tái)灣和澳門)的客戶,同時(shí)我們?cè)谥袊箨懺O(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊(cè)資本 100萬人民幣
員工人數(shù) 1-10人 年?duì)I業(yè)額 ¥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè) 其他儀器耗材 經(jīng)營模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國有限公司
非會(huì)員
  • 公司成立:10年
  • 注冊(cè)資本:100萬人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營產(chǎn)品:薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號(hào)
詢盤

NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)相關(guān)廠家報(bào)價(jià)

產(chǎn)品名稱 價(jià)格   公司名稱 報(bào)價(jià)日期
詢價(jià)
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2024-12-24
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