Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動載臺和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)系統(tǒng)。
產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。
輪廓儀探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)勢是它是接觸式直接測量，與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針選擇可以讓機(jī)臺對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測量。這可以對您的工藝進(jìn)行量化，以確定添加或移除的材料量，以及通過測量粗糙度和應(yīng)力來確定結(jié)構(gòu)的任何變化。
特征
主要應(yīng)用
臺階高度：2D臺階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形狀：2D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域
高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
太陽能板
MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
應(yīng)用說明
臺階高度
Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀能夠測量從幾個(gè)納米到1200μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step 系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。
紋理：粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-500測量2D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。
外形：翹曲和形狀
Alpha-Step D-500可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-500能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置***測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。
關(guān)鍵字： 臺階儀;輪廓儀;探針式輪廓儀;Alpha-Step D-500;高精度輪廓儀;
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自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
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