二氟化氙
二氟化氙
中文名稱二氟化氙
中文同義詞二氟化氙;四氟化氙
英文名稱XENONDIFLUORIDE英文
同義詞XENON(II)FLUORIDE;XENONDIFLUORIDE;XeF4;Xenonfluoride(XeF4);Xenonfluoride(XeF4),(T-4)-;xenontetrafluoride;XENONDIFLUORIDE,ELECTRONICGRADE;Tetrafluoroxenon
CAS號(hào)13709-61-0
分子式F2Xe
分子量169.29EINECS號(hào)237-260-1相關(guān)類別半導(dǎo)體制程材料;
電子化學(xué)品Mol
文件13709-61-0.mol
結(jié)構(gòu)式二氟化氙性質(zhì)熔點(diǎn)129°C(lit.)沸點(diǎn)115.73°C(estimate)密度4.32g/mLat25°C(lit.)蒸氣壓3.8mmHg(25°C)形態(tài)colorlessmonocliniccrystals水溶解性reactsviolentlywithH2O,formingXe,O2,HF,andXeO3[DOU83]二氟化氙用途與合成方法概述無(wú)色透明四方晶體。相對(duì)密度4.32(25/4℃),熔點(diǎn)129℃,固體蒸氣壓為4.6×133.322Pa(25℃)。蒸氣也是無(wú)色的,有惡臭。易溶于無(wú)水氟化氫、氟化亞硝酰?三(氟化氫)和五氟化碘,但不發(fā)生電離。能被氫還原生成氙和氟化氫。與氟反應(yīng)生成四氟化氙或六氟化氙。遇水則水解,過(guò)程很復(fù)雜。在日光直射下,氙與氟反應(yīng)而制得。
用途制備一種二氟化氙氣相刻蝕阻擋層,包括如下步驟:(1)將二氟化氙氣體噴灑到裸露的阻擋層的表面;(2)采用光束僅照射電介質(zhì)層上表面的阻擋層,使電介質(zhì)層上表面的阻擋層的刻蝕速率高于溝槽和連接孔側(cè)壁上的阻擋層的刻蝕速率。本發(fā)明通過(guò)向電介質(zhì)層上表面的阻擋層照射光束,提高了電介質(zhì)層上表面的阻擋層的刻蝕速率,使電介質(zhì)層上表面的阻擋層的刻蝕速率高于溝槽和連接孔側(cè)壁上的阻擋層的刻蝕速率,避免溝槽和連接孔側(cè)壁上的阻擋層過(guò)度刻蝕,提高了微觀上的刻蝕均勻性,達(dá)到了更好的工藝效果。安全信息危險(xiǎn)品標(biāo)志O,T+危險(xiǎn)類別碼8-25-26-34安全說(shuō)明17-26-28-36/37/39-45
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)UN30875.1/PG2WGKGermany3RTECS號(hào)ZE1294166F1-10危險(xiǎn)等級(jí)5.1包裝類別IMSDS信息提供商語(yǔ)言SigmaAldrich英文ACROS英文ALFA中文ALFA英文二氟化氙
上下游產(chǎn)品信息
下游產(chǎn)品氟化鈰
無(wú)錫開(kāi)騰能源科技有限公司
關(guān)鍵字: 南非;二氟化氙;氟化氙;
主要經(jīng)營(yíng)特種氣體、稀有氣體、高純氣體、有機(jī)氣體、含氟嘞氣體以及化工產(chǎn)品 專業(yè)為各行業(yè)定制混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體,同時(shí)提供相關(guān)氣體設(shè)備和工程安裝等,為電子、太陽(yáng)能、半導(dǎo)體、電力、科研、照明、制藥、石油化工、建材和食品等行業(yè)提供各種特種氣體產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù),公司享有特殊自營(yíng)進(jìn)出口氣體權(quán)。
公司由從事氣體行業(yè)25年的資深技術(shù)人員創(chuàng)建,引進(jìn)美國(guó)先進(jìn)的氣體生產(chǎn)技術(shù)、分析的設(shè)備和質(zhì)量管理理念。目前,公司生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量均達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平,與國(guó)際、國(guó)內(nèi)著名氣體企業(yè)多有深度合作。國(guó)際方面,公司是美國(guó)SAP公司(美國(guó)特種氣體公司)中國(guó)總經(jīng)銷商,同時(shí)也被多家外企授予總代理資格,可以從美國(guó)、俄羅斯、韓國(guó)、臺(tái)灣、中東等國(guó)家地區(qū)直接進(jìn)口高品質(zhì)產(chǎn)品;國(guó)內(nèi)方面,公司已與武鋼氧氣有限公司、山東東岳集團(tuán)、浙江巨化集團(tuán)等公司建立長(zhǎng)期穩(wěn)定的供銷關(guān)系。公司主要產(chǎn)品包括原裝進(jìn)口和國(guó)產(chǎn):氖氣、氙氣、氪氣、氦氣等稀有氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體、電光源混合氣、激光混合氣等標(biāo)準(zhǔn)混合氣。六氟化硫、超純氨、四氟化碳、硅烷等各種高純氣體產(chǎn)品,具有很強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力。
公司擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和工程安裝隊(duì)伍,為廣大客戶提供用氣咨詢、供氣設(shè)計(jì)方案、各種氣體容器、閥門儀表,充裝裝置的選型和安裝服務(wù)。此外,公司可為客戶提供電子氣體供應(yīng)管路的設(shè)計(jì)安裝,集中供氣系統(tǒng)投建的整套服務(wù)。
在產(chǎn)品運(yùn)輸配送方面,公司以專業(yè)運(yùn)輸團(tuán)隊(duì)和各種物流途徑相結(jié)合的靈活方式,為客戶提供“門到門”式的快捷、無(wú)憂服務(wù),保證100%滿意度。同時(shí),結(jié)合國(guó)內(nèi)外技術(shù)與資源優(yōu)勢(shì),為客戶提供更多產(chǎn)品供應(yīng),力爭(zhēng)在質(zhì)量與價(jià)格上更“給力”。公司秉承“顧客至上,銳意進(jìn)取”的經(jīng)營(yíng)理念,堅(jiān)持“合作雙贏”的原則,以集約化、國(guó)際化團(tuán)隊(duì),竭誠(chéng)為客戶提供專業(yè)化服務(wù)。
無(wú)錫開(kāi)騰能源科技有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù):
我公司的氣體產(chǎn)品主營(yíng):特種氣體、高純氣體、稀有氣體和標(biāo)準(zhǔn)混合氣體。特氣體主要由進(jìn)口和廠家代理直銷為主,產(chǎn)銷的特氣種類齊全,具有很強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。至今為止,本公司經(jīng)營(yíng)的氣體產(chǎn)品有八個(gè)系列共50多個(gè)品種。電子方面主要用氣介紹如下:1、高純氣體
稀有氣體:氘氣、高純氖氣、氙氣、氪氣、氦氣、二氟化氙及各種同位素氣體
特種氣體:六氟化硫、超高純氨氣、一氧化碳、四氟化碳、硅烷、超純氣體(6N以上)、六氟乙烷、三氟甲烷、二氟甲烷、一氟甲烷、八氟環(huán)丁烷、三氟化氮、
有機(jī)氣體:甲烷、乙烷、丙烷、乙烯、丁烷、丙炔、丙二烯
2、混合氣體
照明氣體:電光源氣、特種光源氣、鹵素?zé)粲脷?
電子混合氣:六氟化硫混合氣、硅烷混合氣、準(zhǔn)分子混合氣、其他
工業(yè)混合氣:激光混合氣、焊接混合氣、氟氮混合氣、其他
3、工業(yè)氣體
電子工業(yè)用氣體:氧、氮、氬、液氨、二氧化硫、超高壓氣體(含35MPa)