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NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)
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NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)

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發(fā)貨地 上海
更新日期 2024-12-23

產品詳情

中文名稱:NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)產品類別: 沉積系統(tǒng) TE熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
2024-12-23 NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng) 1臺/RMB 沉積系統(tǒng) TE熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NTE-3000是一款PC計算機控制的臺式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應用。設備的設計經過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實現干凈、均勻、可控及可重復的工藝過程。它們具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產的應用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。


NTE-3500蒸發(fā)系統(tǒng)是一個緊湊型系統(tǒng),跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個共同的平臺;比如:櫥柜,腔體,真空系統(tǒng),計算機控制架構等方面都是一樣的。*的區(qū)別是一個使用磁控管,另一個使用加熱坩堝. 因此,在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中,比如:樣品臺的加熱,旋轉,偏斜;涂覆前的等離子清洗,膜厚監(jiān)測,序列或同時操作多源;鐘罩、鋁或不銹鋼腔體;預真空鎖以及自動裝片/取片系統(tǒng)等。


NTE-3500跟NSC-3500很像, 除了樣片臺是在頂部并且樣片是面朝下固定。因為有許多的共同點,我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-3500,NTS-4000),具有濺射和蒸發(fā)兩種能力。通過計算機控制系統(tǒng),我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力,這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術,而無須中斷真空

Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大*優(yōu)勢是持續(xù)性地控制加熱器電流,而不是震蕩式控制加熱器。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路,這點跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同。在該系統(tǒng)中,電流或者RMS值的持續(xù)時間被控制。用戶可以選擇一個設定值,它實際上是設定交流電半周期的部分,會出現跟鎢加熱器電線的交叉。這樣,系統(tǒng)可以實現精確快速的電流控制,這使得閉環(huán)溫度控制就可以實現。此外,電流控制以及溫度控制,可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求,無論是對有機材料還是對金屬。我們測量坩堝TB的RMS電壓,RMS電流,和溫度,并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測量溫度??折釄宓募訜釋嶒灲Y果如下圖所示,這些加熱實驗結果是在208V線電壓下進行的。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測量。

通過以上的溫度與電流的關系,我們可以設定并控制電流以達到坩堝內想要的溫度,溫度可以通過熱電偶來測量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時間的常量將會發(fā)生變化,然而坩堝內的溫度和熱電偶的測量值之間的關系將不會變化。因此,我們的技術可以實現坩堝內的溫度不依賴于大部分放入的材料,甚至不受線電壓值的影響。


NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)產品特點:

·         至大可支持6"(150mm)的晶圓片

·         自動上下載片,帶預真空鎖

·         沉積速度可控

·         旋轉的樣品臺

·         雙坩堝

·         2KVA SRC控制電源

·         晶振式膜厚監(jiān)控儀

·         通過LabView軟件實現PC計算機控制


NTE-3500(A)相似產品型號:

·         NTE-4000  基于PC計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)

·         NTE-3500  基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)

·         NTE-3000  基于PC計算機全自動控制的雙蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)

·         NTE-1000  計算機控制的單蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)

 


關鍵字: 全自動熱蒸鍍;全自動熱蒸發(fā)鍍膜設備;熱蒸鍍系統(tǒng);熱蒸發(fā)臺;熱蒸發(fā)鍍膜設備;

公司簡介

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。 那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設計開發(fā)薄膜應用方面的設備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發(fā)展成為全球薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。 我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊資本 100萬人民幣
員工人數 1-10人 年營業(yè)額 ¥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè) 其他儀器耗材 經營模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國有限公司
非會員
  • 公司成立:10年
  • 注冊資本:100萬人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營產品:薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號
詢盤

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