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NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)
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NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)

價格 詢價
包裝 1臺
最小起訂量 1臺
發(fā)貨地 上海
更新日期 2024-12-23

產(chǎn)品詳情

中文名稱:NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品類別: 沉積系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng)
2024-12-23 NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng) 1臺/RMB 沉積系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng)

NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達到6"旋轉(zhuǎn)平臺,支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-4000(A)帶有14”立方形不銹鋼腔體,42”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,350 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。


NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

  • 不銹鋼腔體

  • 260l/s或350l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

  • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機控制

  • 帶密碼保護功能的多級訪問控制

  • 完全的安全聯(lián)鎖功能

  • 預(yù)真空鎖以及自動晶圓片上/下載片




選配項:

  • RFDC濺射

  • 熱蒸鍍能力

  • RFDC偏壓(1000V

  • 樣品臺可加熱到700°C

  • 膜厚監(jiān)測儀

  • 基片的RF射頻等離子清洗



應(yīng)用:

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆

  • 光學(xué)以及ITO涂覆

  • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

  • RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射


關(guān)鍵字: 磁控濺射;磁控濺射系統(tǒng);磁控濺射設(shè)備;光學(xué)鍍膜機;

公司簡介

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設(shè)計開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點實驗室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊資本 100萬人民幣
員工人數(shù) 1-10人 年營業(yè)額 ¥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè) 其他儀器耗材 經(jīng)營模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國有限公司
非會員
  • 公司成立:10年
  • 注冊資本:100萬人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營產(chǎn)品:薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號
詢盤

NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)相關(guān)廠家報價

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