產(chǎn)品名：四甲基氫氧化銨（又名氫氧化四甲銨）
英文名：Tetramethyl ammonium hydroxide
簡  稱：TMAH
分子式：C4H13NO
分子量：91.1528
登記號：75-59-2

四甲基氫氧化銨(TMAH)的應(yīng)用領(lǐng)域如下:

(1)表面活性劑：由于TMAH屬于季銨堿，可以用作表面活性劑。

(2)有機合成試劑：TMAH是有機堿，能和各種不同的酸反應(yīng)制備相應(yīng)的銨鹽，如四甲基碳酸氫銨，四甲基氟化銨等較難合成且沒有市售的銨鹽；制備酸性化合物烷基衍生物等。

(3)催化劑：四甲基氫氧化銨在有機硅合成方面被廣泛用作相轉(zhuǎn)移催化劑，如作二甲基硅油、苯甲基硅油、有機硅擴散泵油、無溶劑有硅模塑料、有機硅樹脂和硅橡膠等的催化劑；可作為橡膠防老劑中間體的縮合催化劑；作沸石、分子篩合成的催化劑。其優(yōu)點是，反應(yīng)完后加熱升溫，可使之分解為氣體而趕走不殘留在產(chǎn)品中。

(4)分析領(lǐng)域：TMAH是優(yōu)異的甲基化劑，其甲基化能大，酯化速度快，在用氣相色譜法測定脂肪酸的組成時，TMAH用作前處理劑。在極譜分析中作支持電解質(zhì)；TMAH是強有機堿，可作為有機酸的滴定劑，尤其是在避免金屬離子和非水溶劑時，TMAH是很好的選擇。

(5)半導體領(lǐng)域：有機材料蝕刻中TMAH作為正膠顯影劑，有機材料蝕刻主要是指光刻膠在經(jīng)過顯影和圖形轉(zhuǎn)移后的去膠；TMAH是一種具有優(yōu)良的腐蝕性能的各向異性腐蝕劑，選擇性好，無毒且不污染環(huán)境。最重要的是TMAH與互補金屬氧化物半導(CMOS)工藝相兼容，符合SOC(嵌入式系統(tǒng)微處理器)的發(fā)展趨勢。TMAH正逐漸替代KOH和其他腐蝕液，成為實現(xiàn)微電子機械系統(tǒng)(MEMS)工藝中微三維結(jié)構(gòu)的主要腐蝕劑。

(6)其他領(lǐng)域:在產(chǎn)品提純方面作為無灰堿用以沉淀許多金屬元素；作pH值緩沖劑。

關(guān)鍵字：四甲基氫氧化銨，催化劑，表面活性劑