76-16-4
中文名稱
六氟乙烷
英文名稱
HEXAFLUOROETHANE
CAS
76-16-4
EINECS 編號(hào)
200-939-8
分子式
C2F6
MDL 編號(hào)
MFCD00000428
分子量
138.01
MOL 文件
76-16-4.mol
更新日期
2025/01/03 16:19:22
76-16-4 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
六氟乙烷全氟乙烷
R116全氟乙烷
英文別名
CFC-116FC-116
HALOCARBON 116
HEXAFLUOROETHANE
PERFLUOROETHANE
1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane
C2F6
ethane,hexafluoro-
Ethylhexafluoride
f116
F-116
FC1160
Fluorocarbon 116
Freon 116
Freon 1166SY
freon116
Hexafluorethan
hexafluoro-ethan
Perfluorocarbon116
PFC116
所屬類(lèi)別
有機(jī)原料：氟乙烷系列物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無(wú)色、無(wú)臭的氣體。
熔點(diǎn)−100 °C(lit.)
沸點(diǎn)−78 °C(lit.)
密度1,607 g/cm3
蒸氣密度4.7 (vs air)
蒸氣壓430 psi ( 21 °C)
折射率1.2060
InChIKeyWMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N
CAS 數(shù)據(jù)庫(kù)76-16-4(CAS DataBase Reference)
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Hexafluoroethane (76-16-4)
制備方法
方法1
以活性炭與氟為原料，在裝有活性炭的反應(yīng)爐中緩慢通入高濃氟氣，通過(guò)控制電加熱，供氟速率和冷卻反應(yīng)爐來(lái)控制反應(yīng)溫度。反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過(guò)除塵、堿洗、脫水后，可獲得含ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８的粗品，然后把粗品混合物進(jìn)行間歇低溫精餾，提?。茫玻疲?，再用分子篩進(jìn)一步進(jìn)行 低溫吸附脫水，可獲得純度大于99.7%的Ｃ２Ｆ６。
76-16-4(安全特性,毒性,儲(chǔ)運(yùn))
儲(chǔ)運(yùn)特性
庫(kù)房通風(fēng)低溫干燥; 與易燃物分開(kāi)存放毒性分級(jí)
低毒急性毒性
吸入-大鼠 LC: 20000 PPM/2小時(shí)類(lèi)別
壓縮氣體和液化氣體滅火劑
水常見(jiàn)問(wèn)題列表
簡(jiǎn)介
六氟乙烷在微電子工業(yè)中用于等離子蝕刻及表面清洗。六氟乙烷一直是Kanto Denak公司和另兩家日本公司的樣品。Kanto Denka Kogyo公司計(jì)劃在下一財(cái)政年度大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)六氟乙烷，該產(chǎn)品作為下一代清潔氣體用于高集程度的半導(dǎo)體生產(chǎn)。六氟乙烷作為半導(dǎo)體氧化膜的超細(xì)清潔氣體正日益引起人們的關(guān)注，并在2001開(kāi)始用于生產(chǎn)。就是先使用的八氟丁烷作為蝕刻劑而言，當(dāng)接觸到孔徑為140納米或更小的元件時(shí)八氟丁烷無(wú)法起到蝕刻作用。應(yīng)用
六氟乙烷ODP值(臭氧層破壞潛能值)為零，GWP值(溫室效應(yīng)能力)為9200.主要應(yīng)用在低溫制冷與電子清洗及蝕刻行業(yè)，另外少部分應(yīng)用在醫(yī)學(xué)手術(shù)中及其它新開(kāi)發(fā)的領(lǐng)域。制備
氟氣或氮?dú)夂头鷼獾幕旌蠚怏w、四氟乙烯從不同的進(jìn)料口進(jìn)入溫度為l0-60℃、壓力為0.1～0.15 MPa的反應(yīng)器中，控制氣體在反應(yīng)器中的空速為0.2-10min，進(jìn)行反應(yīng)，得到的部分反應(yīng)產(chǎn)物在反應(yīng)器出口端通過(guò)反應(yīng)器外接循環(huán)設(shè)備離心風(fēng)機(jī)循環(huán)返回反應(yīng)器進(jìn)口端，與通過(guò)進(jìn)料口進(jìn)來(lái)的氟氣或氮?dú)夂头鷼獾幕旌蠚怏w以及四氟乙烯混合后進(jìn)入反應(yīng)器，循環(huán)反應(yīng)；得到的另一部分反應(yīng)產(chǎn)物直接從出料口出來(lái)，得到所述六氟乙烷。該發(fā)明所述方法工藝簡(jiǎn)單、反應(yīng)條件溫和、反應(yīng)器價(jià)格便宜；所制備的六氟乙烷含量高、雜質(zhì)含量低、收率高。化學(xué)性質(zhì)
六氟乙烷化學(xué)式C2F6，純度>99.7%，為無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)味、不可燃的惰性氣體。微溶于水，熔點(diǎn)-100.6℃，沸點(diǎn)-78℃，液體密度1.60g/ml。應(yīng)用
六氟乙烷ODP值(臭氧層破壞潛能值)為零，GWP值(溫室效應(yīng)能力)為9200.主要應(yīng)用在低溫制冷與電子清洗及蝕刻行業(yè)，另外少部分應(yīng)用在醫(yī)學(xué)手術(shù)中及其它新開(kāi)發(fā)的領(lǐng)域。