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油擴(kuò)散泵用硅油

HIVAC F-4, HIVAC F-5

真空裝置的使用范圍隨著各種技術(shù)開發(fā)而急速擴(kuò)大。

例如，電子或金屬加工行業(yè)中的半導(dǎo)體元件、各種集成電路、真空管類、電子部件的制造裝置、金屬、合金類的溶解、加工燒結(jié)裝置、塑料或鍍金行業(yè)中的真空蒙著裝置等的發(fā)展十分顯著，幾乎可以得到高真空度是對這些裝置施加的條件。

一般為了穩(wěn)定高真空，使用油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵（裝置）的性能隨著真空裝置業(yè)界技術(shù)的進(jìn)步，田一十To“以上超真空裝置的制造也比較容易。因此，可以說油擴(kuò)散泵的性能受使用的油的影響很大。

這些是因為油擴(kuò)散泵的運行溫度在200℃左右，容易引起熱裂紋，在加熱的狀態(tài)下打破真空的話，氧化急速前進(jìn)，油變質(zhì)，生成分解氣體的同時，焦油附著在噴嘴上。

另外，容易受到吸引氣體的影響，有促進(jìn)分解等構(gòu)造上的缺點。

作為擴(kuò)散泵油的基本性質(zhì)，要求如下。

1    ）真空特性、穩(wěn)定性

a）分子量200~300

b）室溫下蒸汽壓力低

c）非易失性

d）耐熱、耐酸化性強(qiáng)

2    ）使用方便

e）凝固點低

f）即使在低溫下粘度也不太高

g）無腐蝕性

h）安全性

現(xiàn)在，作為油擴(kuò)散泵油，大量使用石油系和脂肪酸。

1蒸發(fā)潛熱是根據(jù)蒸汽壓力曲線使用Clusius-C1apperon公式計算的值。

HIVACF-4在200℃附近，HIVACF-5根據(jù)250℃附近的數(shù)據(jù)計算。

2 HIVACF-4可能在0℃附近結(jié)晶。這種情況下，加熱工作液溶解后可以再次使用。性能上不允許有差異。

HIVACF-4HIVACF-5因為是耐熱性優(yōu)秀的硅酮油，所以耐熱性高，耐酸化性好，化學(xué)性穩(wěn)定，幾乎不受吸引氣體的影響等，兼?zhèn)鋽U(kuò)散泵油所需的性質(zhì)

HIVACF-4、F-5的耐熱性和抗氧化性都很好。因此，長時間高溫曝曬也很穩(wěn)定，不會發(fā)生粘度變化

1 蒸發(fā)潛熱是根據(jù)蒸汽壓力曲線使用Clusius-C1apperon公式計算的值。

HIVACF-4在200℃附近，HIVACF-5根據(jù)250℃附近的數(shù)據(jù)計算。

2 HIVACF-4可能在0℃附近結(jié)晶。這種情況下，加熱工作液溶解后可以再次使用。

性能上不允許有差異。

3 硅油的抗輻射性

硅酮油的抗輻射性比二甲基硅酮油更優(yōu)秀，苯基的含量越多，其穩(wěn)定性就越大。

HIVACF-4、F-5因為含有大量的苯基，所以具有優(yōu)秀的耐輻射性。

使用油擴(kuò)散泵制作超高真空時

使用擴(kuò)散泵，在室溫下與擴(kuò)散泵油的蒸汽壓力相當(dāng)?shù)?0-8~10。為了得到Torr的超真空，擴(kuò)散泵油的性能是**的原因。

但是，僅僅這樣還不能說足夠。

一般來說，擴(kuò)散泵的到達(dá)壓力由以下公式表示。

P=Po十Eq/S

P：到達(dá)壓力

PO?擴(kuò)散泵油蒸氣的分壓

2千·燃?xì)庠春嫌?/p>

S?擴(kuò)散泵的排氣速度

?關(guān)于擴(kuò)散泵油

擴(kuò)散泵油的分壓本來應(yīng)該是擴(kuò)散泵油的蒸汽壓力，但是也有以低沸雜質(zhì)、熱分解物為主的情況。希望擴(kuò)散泵油的純度高，耐熱性好。

據(jù)說工作初期擴(kuò)散泵油的逆流特別多。另外，真空系統(tǒng)內(nèi)壁吸附的氣體、擴(kuò)散泵等會對到達(dá)壓力產(chǎn)生惡劣影響。

因此，通過加熱除去這些氣體是有效的。

另外，作為泵主體真空系統(tǒng)的內(nèi)壁、密封墊等也需要預(yù)先充分清洗。另外，qi有以下幾種。

a）氣體的反擴(kuò)散

b）從泵內(nèi)壁、構(gòu)成部件等排出的氣體

c）通過容器壁、墊圈的氣體透過及泄露

因此，為了改善到達(dá)壓力，*好將PO+q/S減到*少。

使用一般擴(kuò)散泵的排氣裝置在這一點上采取了各種各樣的對策，這里表示實際處理擴(kuò)散泵時的問題。

?關(guān)于泄露

泄露會對到達(dá)壓力產(chǎn)生不良影響。發(fā)現(xiàn)泄露需要相當(dāng)?shù)氖炀殹?/p>

特別是金屬草圖的話，需要小心。另外，如果是有機(jī)橡膠系的草圖，由于氣體透過而導(dǎo)致的漏氣也有可能無法忽視，請充分注意。