常用名 四甲基氫氧化銨 別 名 四甲基氫氧化銨溶液 | 顯影液TMAH 英文名 Tetramethylammonium hydroxide CAS號 75-59-2 EINECS 200-882-9 分子式 C4H13NO 分子量 91.152 密 度 0.866 g/mL 沸 點 110 °C 熔 點 62-71°C 閃 點 80 °F 性 狀 無色結(jié)晶 用 途 1.用作極譜分析試劑 2.用作計算機硅片面的光亮劑、觸刻劑等 3.在電子行業(yè)中,廣泛用作硅晶片蝕刻劑、清洗劑、正膠顯影劑等
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