六甲基二硅氮烷
中文名稱 六甲基二硅氮烷
英文名稱 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
中文別名 六甲基二硅亞胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS
CAS RN 999-97-3
分 子 式 C6H19NSi2
分 子 量 161.39
物化性質(zhì) 性 狀 無色透明液體、無毒、略帶胺味
用 途 為阿米卡星藥用中間體,是羥基及氨基保護劑;特種有機合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。
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