本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)主要用于薄膜厚度測量和表面化學(xué)分析(深度剖析)儀器設(shè)備的檢定/校準(zhǔn)、分析 方法的確認(rèn)與評價、技術(shù)仲裁測量以及測量質(zhì)量控制等。?
一、 樣品制備?
本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)系通過原子層沉積技術(shù)在單晶硅基底上生長二氧化硅納米薄膜成批制備而成,切割形成正方形片狀樣品(10mm×10mm×0.7mm)。?
二、 溯源性及定值方法?
本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)采用兩種國際公認(rèn)的不同原理方法(掠入射 X 射線反射測量和橢偏測量)進(jìn)行定值, 以兩種定值方法測量結(jié)果的總平均值作為標(biāo)準(zhǔn)值。通過使用滿足計量學(xué)特性要求的測量方法和計量 器具,保證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)量值的溯源性。 三、 特性量值及不確定度
四、 均勻性及穩(wěn)定性評估?
參照 JJF1343 國家計量技術(shù)規(guī)范(等效 ISO 指南 35),采用定值方法,按照隨機(jī)抽樣原則對樣品 進(jìn)行均勻性評估,評估結(jié)果表明樣品均勻性良好;采用定值方法,對樣品進(jìn)行穩(wěn)定性評估,評估結(jié) 果表明樣品穩(wěn)定性良好。 本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)自定值日期起有效期 3 年,研制單位將繼續(xù)跟蹤監(jiān)測該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的穩(wěn)定性,有效期 內(nèi)如發(fā)現(xiàn)量值變化,將及時通知用戶。?
五、 包裝、貯存及使用?
本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)固定放置在氟化聚丙烯圓盒中,圓盒真空密封包裝于鋁箔袋內(nèi),每盒 1 片。貯存在 陰涼干燥的室溫環(huán)境條件下,運輸過程中必須保持包裝的完整,使用過程中必須保持樣品表面清潔。
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