中文名:稀釋劑OK73
英文名:Diluent ok73
中文別名:光阻稀釋劑
純度:UP-S級(jí),單個(gè)金雜≤0.1ppb
貨號(hào):D301827
包裝:250ml、50ml
存儲(chǔ)溫度:室溫
產(chǎn)品介紹:
產(chǎn)品介紹:稀釋劑(OK73):70%的 PGME( 單甲基醚丙二醇) 和 30% 的PGMEA( 丙二醇甲醚醋酸酯)組成。產(chǎn)品用途:用于設(shè)備管路清洗以及除去晶圓邊緣,背面,以及涂刷機(jī)容器杯上的光阻劑。
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