中文名：緩沖氧化物蝕刻劑 (BOE) 6:1 含表面活性劑

英文名：Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant

英文別名：Buffered HF, BHF

貨號：B487586

包裝：250ml

產(chǎn)品介紹：

描述

緩沖氧化物蝕刻劑（BOE）是一種用于微細(xì)加工的濕蝕刻劑。它的主要用途是蝕刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一種緩沖劑的混合物，例如氟化銨（NH4F）和氫氟酸（HF）。濃縮HF對二氧化硅的蝕刻速度太快，無法實現(xiàn)良好的工藝控制，并且還會剝離用于光刻圖案化的光刻膠。

應(yīng)用

含表面活性劑的緩沖氧化物蝕刻劑（BOE）6：1可用于去除基于AlGaN/GaN 高電子遷移率晶體管的氧化物，用于柵極光刻。也可用于緩沖氧化物蝕刻劑方法，制造微生物芯片。

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