Ossila 旋涂機(jī)經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，可提高薄膜質(zhì)量，無(wú)需真空泵和氮?dú)夤苈?，可以生產(chǎn)出零基材翹曲的均勻涂層。它簡(jiǎn)單明了的操作和設(shè)計(jì)使旋涂快速、簡(jiǎn)單、便宜，而不會(huì)影響功能。
Ossila 旋涂機(jī)具有直觀的控制軟件，無(wú)需任何先決條件設(shè)備，是一款真正的即插即用設(shè)備。我們的旋涂機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，在實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上占用的空間非常小，可以輕松地在手套箱內(nèi)使用。
為什么使用無(wú)真空設(shè)計(jì)？
市場(chǎng)上的許多旋涂機(jī)在旋涂時(shí)使用真空泵來(lái)夾持基材。Ossila 旋涂機(jī)采用創(chuàng)新的卡盤(pán)設(shè)計(jì)，不需要真空。基材通過(guò)切入聚丙烯卡盤(pán)的凹槽固定到位，從而將多余的涂層材料排出。
無(wú)真空旋涂機(jī)使用創(chuàng)新的卡盤(pán)在旋絲循環(huán)中將基板固定到位
薄基材可能會(huì)被真空吸盤(pán)向內(nèi)翹曲，從而影響涂層的均勻性。真空作用力對(duì)沉積在多孔基材（如陶瓷）頂部的溶液的影響也會(huì)導(dǎo)致不均勻性。這會(huì)降低設(shè)備的質(zhì)量和性能。無(wú)真空卡盤(pán)通過(guò)保持基材平坦且不受損壞來(lái)確保均勻的薄膜分布，即使它們是柔性基材。
標(biāo)準(zhǔn)旋涂機(jī)上的真空密封環(huán)導(dǎo)致的基板翹曲（左） 無(wú)真空卡盤(pán)可實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜分布（右）
沒(méi)有真空管路，Ossila 旋涂機(jī)可以在任何地方設(shè)置一個(gè)電源插座。由于其易于設(shè)置和緊湊的尺寸，可以在實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)、通風(fēng)櫥或手套箱中旋轉(zhuǎn)涂層，所有這些都在同一天完成。
大多數(shù)旋涂機(jī)還承擔(dān)著真空泵的隱性成本，而真空泵的隱性成本通常不包括在整個(gè)系統(tǒng)價(jià)格中。真空泵容易損壞，導(dǎo)致昂貴的維修和延誤。這主要是由于過(guò)量的溶劑被吸入真空管路，損壞了內(nèi)部組件。使用免真空 Ossila 旋涂機(jī)可以降低短期和長(zhǎng)期成本，它為您提供開(kāi)始旋涂所需的一切。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
旋轉(zhuǎn)速度范圍大：旋轉(zhuǎn)速度范圍為 120 至 10,000 rpm，涵蓋一系列不同的旋涂條件——從慢速干結(jié)晶到超薄膜。
易于安裝：無(wú)需連接真空或氮?dú)夤苈?，只需插入電源即可使用?/span>
智能操作：內(nèi)置的控制系統(tǒng)允許您擁有最多 10 個(gè)獨(dú)立的用戶配置文件 - 每個(gè)配置文件能夠保存 10 個(gè)配方，最多 50 個(gè)步驟。
旋涂質(zhì)量好：內(nèi)置水平儀和可調(diào)節(jié)支腳確保了平坦的旋轉(zhuǎn)軸，無(wú)真空卡盤(pán)可防止薄基材翹曲。這兩個(gè)因素都使薄膜的均勻性更好，設(shè)備性能也更好。
安全性好：旋涂機(jī)由 24 V DC 電源供電，因此不需要高電壓或具有額外要求的專業(yè)電源。防止溶劑和篡改，有一個(gè)磁性安全開(kāi)關(guān)，當(dāng)蓋子打開(kāi)時(shí)停止電機(jī)。
優(yōu)化的卡盤(pán)設(shè)計(jì)：Ossila 旋涂機(jī)卡盤(pán)的設(shè)計(jì)已經(jīng)過(guò)深入研究和優(yōu)化。使用流體動(dòng)力學(xué)模擬來(lái)跟蹤卡盤(pán)區(qū)域的氣流，我們?cè)O(shè)計(jì)了卡盤(pán)，以改善基材上的氣流，減少溶劑積聚，同時(shí)確保在極高轉(zhuǎn)速下的機(jī)械穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù)：
| 標(biāo)準(zhǔn)旋涂機(jī)
| 高速旋涂機(jī) |
| 用戶配置文件 | 10 | 10 |
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| 程序 | 每個(gè)用戶配置文件上有 10 個(gè)程序，每個(gè)程序最多 50 個(gè)步驟 | 每個(gè)用戶配置文件上有 10 個(gè)程序，每個(gè)程序最多 50 個(gè)步驟 |
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| 速度穩(wěn)定性 | <2% 誤差 | <0.25% 誤差 |
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| 速度 | 120 至 6000 RPM | 500 至 10,000 RPM |
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| 旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 1 – 1000 秒 | 1 – 3600 秒 |
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| 電源 | DC 24 V 2 A，通過(guò) 100–240 V 50/60 Hz 電源適配器 | DC 24 V 2 A，通過(guò) 100–240 V 50/60 Hz 電源適配器 |
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| 安全開(kāi)關(guān) | 門(mén)上的磁性安全開(kāi)關(guān) | 門(mén)上的磁性安全開(kāi)關(guān) |
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| 尺寸（深 x 寬 x 高） | 225 毫米 x 170 毫米 x 140 毫米（8.86 英寸 x 6.69 英寸 x 5.51 英寸） | 225 毫米 x 170 毫米 x 140 毫米（8.86 英寸 x 6.69 英寸 x 5.51 英寸） |
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| 重量 | 2.9 千克 | 3.7 千克 |
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| 材料 | 聚丙烯碗，鋼制外殼，鋼化玻璃蓋 | 聚四氟乙烯碗，粉末涂層鋼制外殼，鋼化玻璃蓋 |
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關(guān)鍵字： 勻膠機(jī) ;旋涂?jī)x;旋轉(zhuǎn)涂布機(jī);勻膠臺(tái);涂膠機(jī);
那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸，香港，臺(tái)灣和澳門(mén))的客戶，同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門(mén)的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。
那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó)，該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開(kāi)始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式更名。
自2001年Nano-Master開(kāi)始設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)