高真空150分子泵組合,泵組搭配機械泵抽氣口和分子泵抽氣口,可根據(jù)需求使用,前級采用雙極四旋片真空泵,2.2L/S。分子泵采用150分子泵,空載極限壓強為1X10-4Pa
高真空150分子泵組合KT-150YCF技術(shù)參數(shù):
控制方式
手動人機界面控制
前級泵接口
KF25(客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級泵)
分子泵
FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分
分子泵抽氣速率
140L/S
分子泵啟動時間
≤2min
空載極限壓強
≤1X10-4Pa
真空測量方式
冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管
真空測量范圍
1E﹢2到1E-5 Pa
真空測量精度
1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性: ±5%
抽氣接口
KF25
閥門類型
KF25手動擋板閥
系統(tǒng)電源
AC220V
系統(tǒng)功率
≤750W
環(huán)境溫度
5~32℃
冷卻方式
強制風(fēng)冷卻
濕度
≤80%RH
外形尺寸
250 X360 X 300mm (寬-深-高)
重量
25KG
隨機配件:KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個
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