中頻500w電源等離子清洗機(jī),
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
中頻500w電源等離子清洗機(jī)KT-Z5KQX
供電電源
AC220V(AC110V可選)
工作電流
整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率
500W可調(diào)
射頻頻率
40kHz
耦合方式
電容耦合
真空度
≤30Pa
腔體容積
5L(內(nèi)徑 152mmX 深度 280mm)
載物規(guī)格
125mmX260mm
氣體流量
0—50ml/min(其他量程可選)
氣體路數(shù)
2 路質(zhì)量流量計(jì)+精密流量控制閥
過程控制
自動(dòng)控制
清洗時(shí)間
手動(dòng)開關(guān)
開蓋方式
鉸鏈側(cè)開式法蘭
真空室溫度
小于65°C
外形尺寸
450x450x250mm
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷
標(biāo)配
KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本,機(jī)械泵一臺(tái)
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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