應(yīng)用
用于氧化還原金屬置換反應(yīng),以優(yōu)化銅的化學(xué)氣相沉積合金化工藝。還用于同時(shí)進(jìn)行銅的蝕刻和鈀的沉積,從而應(yīng)用于超大規(guī)模集成設(shè)備。
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