常用名 四甲基氫氧化銨
別 名 四甲基氫氧化銨溶液 | 顯影液TMAH
英文名 Tetramethylammonium hydroxide
CAS號(hào) 75-59-2
EINECS 200-882-9
分子式 C4H13NO
分子量 91.152
密 度 0.866 g/mL
沸 點(diǎn) 110 °C
熔 點(diǎn) 62-71°C
閃 點(diǎn) 80 °F
性 狀 無(wú)色結(jié)晶
溶解性 溶于水和乙醇等
用 途
1.用作極譜分析試劑
2.用作計(jì)算機(jī)硅片面的光亮劑、觸刻劑等
3.在電子行業(yè)中,廣泛用作硅晶片蝕刻劑、清洗劑、正膠顯影劑等
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