高純四氯化硅 (TET)
四氯化硅不銹鋼瓶采用316L不銹鋼制作的高潔凈容器,容積有45L、250L、900L三種規(guī)格,閥門為1/2"、1/4”VCR接口閥門,三種規(guī)格容器可分別充裝45kg、300kg和1000kg產(chǎn)品,還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
產(chǎn)品指標(biāo):
氣體名稱
SiCl4
成分或雜質(zhì)名稱
產(chǎn)品指標(biāo)
純度
≥99.9999%
電阻率
≥500 ohm.cm
其他氯硅烷
<1ppm/w
碳
<0.2ppb/w
施主雜質(zhì)(砷As、磷P)
≤0.08ppb/w
硼(B)
≤0.1ppb/w
鐵(Fe)
<2ppb/w
鎳(Ni)
≤2ppb/w
鉻(Cr)
≤1ppb/w
安徽艾約塔硅油有限公司
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潘經(jīng)理