中文名稱:三氯氫硅
中文同義詞:硅仿;三氯硅烷;硅氯仿;三氯氫硅;三氯化硅;三氯矽甲烷;三氯甲硅烷;三氯硅烷(又名:三氯氫硅)
英文名稱:Trichlorosilane
CAS NO:10025-78-2
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)式:Cl3Si
技術(shù)指標:
1,外觀,無色透明液體
2,熔點-126.5℃
3,沸點33℃
4,相對密度1.34
5,含量,≥99.5%
用途
用作高分子有機硅化合物的原料,也用于儀表工業(yè),制造有機硅化合物的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的基本原料。
生產(chǎn)方法沸騰氯化法硅粉經(jīng)干燥后加入氯化沸騰爐,與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進行反應(yīng)。生成的粗三氯氫硅經(jīng)濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅,由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經(jīng)冷凝,制得三氯氫硅成品。
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