別名
N-Hydroxynaphthalimide trifluoromethanesulfonate,HNT,NHN-TF
溶解性
PGMEA: 1%ethyl lactate: <1%γ-butyrolactone: ~2%
一般描述
N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 (HNT) 是一種光致酸產(chǎn)生劑 (PAG) ,其在紫外光輻射時(shí)形成酸,可用于生成圖案化結(jié)構(gòu)。它還可用于通過形成酸鍵而調(diào)節(jié)聚合物的溶解性。
應(yīng)用
HNT可用于形成圖案化納米粒子,其有望用于半導(dǎo)體設(shè)備的大規(guī)模制造。它還可用于沸石的光反應(yīng)性孔重開,其可促進(jìn)氣體滲透過程的調(diào)節(jié)。以HNT為PAG可以形成紫外輻照的三甲基甲硅烷基超薄纖維素膜。
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