乙硅烷是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要的硅源氣體。乙硅烷目前的應(yīng)用在NAND FLASH閃存制造。三星電子、海力士、東芝半導(dǎo)體 作為全球頂尖的半導(dǎo)體企業(yè)也是NAND FLASH的領(lǐng) 先企業(yè),乙硅烷月需求量都在500KG以上。20nm以下邏輯電路制程也都將大量使用乙硅烷, 如臺(tái)積電和三星已經(jīng)從16和14nm制程向10nm甚至 5nm制程發(fā)展,國(guó)內(nèi)新產(chǎn)能投資也很迅猛,乙硅烷 的用量正在大幅增長(zhǎng)。目前應(yīng)用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長(zhǎng)、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相淀積。
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