磷烷混合氣,純度:99.999%,包裝:1-47L。標(biāo)準(zhǔn)充裝壓力:9.5MPa,組分和濃度范圍可根據(jù)要求配制。
磷烷可以和氬氣、氮氣、氦氣、氫氣配比成磷烷混合氣,廣泛用于電子行業(yè),半導(dǎo)體、光伏太陽能及其他工業(yè)用途。
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