產(chǎn)品名稱：對(duì)乙酰氧基苯乙烯

化學(xué)名稱：4-乙酰氧基苯乙烯

英文名稱：4-Ethenylphenol acetate

CAS號(hào)：2628-16-2

分子式：C10H10O2

分子量：162.19

EINECS號(hào)：434-600-2

外觀：無(wú)色透明液體

含量：99%

包裝：25KG/塑料桶

用途：4-乙酰氧基苯乙烯可用于合成作為光致抗蝕劑(光刻膠)。主要成分的聚對(duì)羥基苯乙烯。聚對(duì)羥基苯乙烯系列的化學(xué)增幅型光致抗蝕劑是目前國(guó)際上主流的光致抗蝕劑產(chǎn)品，是用于處理光蝕刻集成電路、制造芯片的關(guān)鍵技術(shù)之一。光蝕刻技術(shù)由生產(chǎn)0.3～0.28μｍ線寬，發(fā)展到改用深紫外光（波長(zhǎng)248nm）生產(chǎn)0.18μｍ線寬，更可通過(guò)超深紫外光（波長(zhǎng)193nm）刻畫線寬達(dá)0.11μｍ的微細(xì)回路。248nm光刻膠通常采用聚對(duì)羥基苯乙烯衍生物為成膜樹(shù)脂，芳基碘鎓鹽或硫鎓鹽作為光致產(chǎn)酸劑，運(yùn)用化學(xué)增幅技術(shù)，在光作用下光致酸發(fā)生劑釋放出酸，然后酸催化使聚合物交聯(lián)(負(fù)膠)或發(fā)生脫保反應(yīng)(正膠)，從而使感光靈敏度極大地提高。