這些微型電子產(chǎn)品用的鉻薄膜蝕刻劑對陽性和陰性光刻膠都有良好匹配性。用它們可以幫助刻制細線條，下蝕現(xiàn)象最低。0.2微米過濾的高純方劑是關鍵裝置制備的需要的理想產(chǎn)品。 鉻蝕刻劑1020 低下蝕高蝕刻速率 鉻蝕刻劑1020AC 用低蝕刻速度可達到低下蝕廣匹配性的效果 鉻蝕刻劑CRE-473 與銅、鎳、金和鉬膜相匹配 鉻光掩膜蝕刻劑 是理想的高精密度光掩膜蝕刻劑 鉻金屬陶瓷蝕刻劑 用于鉻—硅膜蝕刻 特點 · 高純度 · 0.2微米過濾品 · 與光刻膠有良好匹配性 · 蝕刻速率和圖案均勻 鉻蝕刻劑1020和1020AC 說明 Transene鉻蝕刻劑1020和1020AC是高純高鈰鉻硝酸鹽體系，可以用來精密清晰地蝕刻鉻和氧化鉻膜。鉻蝕刻劑1020AC不含硝酸，蝕刻速率較低。這兩種蝕刻劑和陰、陽性光刻膠都有良好的匹配性。鉻蝕刻劑1020已經(jīng)通過過濾去除了所有大于0.2微米的顆粒。鉻蝕刻劑1020AC的邊下蝕現(xiàn)象最微。 性質 1020 1020AC外觀澄清，橙色澄清，橙色比重1.127—1.1301.127—1.130過濾0.2微米-------操作溫度可變可變蝕刻速率，40℃40 ?/秒32 ?/秒貯存室溫室溫沖洗去離子水去離子水 應用 蝕刻速率依膜厚度不同而改變。在室溫下，蝕刻時間為15-60秒。鉻蝕刻劑要在良好通風櫥中操作。 鉻蝕刻劑CRE-473 說明 鉻蝕刻劑CRE-473是微型電子裝置的鉻的選擇性蝕刻劑。CRE-473能有效蝕刻沉積在銅、鎳、金和鉬基板上的鉻膜。和陰、陽性光刻膠都有良好匹配性。 性質 外觀水，白色蝕刻速率（在25℃）14 ?/秒操作溫度25-40℃沖洗用去離子水沖洗貯存室溫 應用 鉻蝕刻劑CRE-473是取來便可使用的液體。專門設計用來去除銅、鎳、金和鉬等基板上的鉻膜。將蝕刻劑加熱到40℃可以加快較厚鉻膜的蝕刻速率。 鉻光掩膜蝕刻劑 (用于制備高精密度光掩膜) 本品為改進的鉻蝕刻劑，可用于制備高質量鉻光掩膜新技術。用于在微型電子產(chǎn)品中去除鍍在玻璃片上的鉻以制出光掩膜圖。 特點 ·與光刻膠具有良好匹配性 ·可室溫操作 ·可觀察的蝕刻控制 ·在亞微米范圍清晰確定 ·廉價經(jīng)濟 說明 Transene鉻光掩膜蝕刻劑設計用于制造鉻金屬光掩膜的新技術中的高要求的蝕刻工藝過程。這種鉻光掩膜生產(chǎn)成本低，當用于微型電子產(chǎn)品中時其性能優(yōu)于乳液型光掩膜。 Transene蝕刻劑可以精密蝕刻鉻。它代替通常的有害實驗室蝕刻劑用于光掩膜生產(chǎn)工藝，具有無毒無害的優(yōu)點。這種蝕刻劑可室溫操作，可進行直觀蝕刻控制，和陰、陽性光刻膠都有良好匹配性。能夠很好記錄細線條和幾何圖形，公差在低于微米的數(shù)量級范圍。Transene鉻光掩膜蝕刻劑可一般成功用于柯達（Kodak）鍍鉻板和玻璃鍍鉻板。 鉻光掩膜蝕刻劑性質 蝕刻速率25℃時為800 ?/秒 40℃時為2400 ?/秒蝕刻能力3mg鉻/ml蝕刻劑操作溫度25℃溶解性可溶于水貯存條件室溫貯存壽命無限長應用 建議使用的光刻膠材料，包括陰性和陽性光刻膠要與鉻光掩膜蝕刻劑要有良好匹配性。這樣便可以使鉻上的微型圖案具有重觀性。這種蝕刻劑可直接用于柯達（Kodak）金屬鍍板P，它是在鍍鉻玻璃板加涂一層陽性光刻膠而制成的。 操作步驟要按指導意見上所敘述的進行(報告1-147)。一般說來，蝕刻過程包括下列步驟： 1. 涂加光刻膠 2. 預烘烤 3. 在紫外光源下將光刻膠暴光 4. 光刻膠顯影 5. 后烘烤 6. 蝕刻鉻 基板上鍍鉻層的厚度為800 ?數(shù)量級。因此，蝕刻時間在60秒左右。 鉻蝕刻劑CE-8001-N CE-8001-N型鉻蝕刻劑是一種高鈰銨硝酸鹽/硝酸蝕刻溶液，可用于所有類型鉻板的蝕刻。蝕刻速率要依基板鉻的密度和工藝條件而定。在室溫下（25℃）的蝕刻時間在15-55秒鐘范圍內。這種蝕刻劑可以和一種添加的表面活性劑（CE-8001-NS）一起供應。 物理和化學性質 外觀橘黃色澄清液體PH（20℃）<1.0比重(20℃)1.103-1.105過濾0.1微米金屬滿足或優(yōu)于SEMI標準 貯存和處理 在室溫下貯存，避免日光直接照射，當不用時貯藏容器要密封。這是一種氧化性酸溶液，處理時要當心。萬一接觸到眼和皮膚時，要用大量清水沖洗，炎癥持續(xù)時，要請醫(yī)生診治。 包裝 1加侖塑料瓶裝 鉻蝕刻劑 CE-8002-A CE-8002-A鉻蝕刻劑是一種高鈰銨/醋酸蝕刻溶液，用于需要蝕刻速率低、無邊下蝕的情況下鉻基板的蝕刻。一般來說，在室溫下（25℃）的蝕刻時間在20-60鈔范圍內。 物理和化學性質 外觀淡橙色澄清液體PH（20℃）＜1.0比重（20℃）1.090-1.095過濾0.2微米金屬滿足或超過SEMI標準 貯存和處理 在室溫下避開陽光曝曬貯存，不使用時容器要密封。這是一種氧化性酸溶液，處理時要當心。萬一接觸到眼或皮膚時，要用大量清水沖洗。如果炎癥不消，要請醫(yī)生診治。 包裝 1加侖塑料瓶裝 |