半導(dǎo)體行業(yè)
化學(xué)氣相沉積氣體混合氣
PECVD薄膜沉積氣體超高純電子級(jí)氣體
6N半導(dǎo)體用硅基特氣99.9999%
硅烷已成為半導(dǎo)體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應(yīng)用還在向縱深發(fā)展: 低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路,也用于化合物半導(dǎo)體器件(砷化鎵、碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制備中也有應(yīng)用。可以說現(xiàn)代幾乎所有先進(jìn)的集成電路的生產(chǎn)線都需用到硅烷。硅烷的純度對(duì)器件性能和成品率關(guān)系極大,更高級(jí)的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。
南京鐳普化工有限公司
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