其他名稱:氟化氬激光氣體(193nm);氟化氪激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
化學(xué)式:ArF、KrF、XeCl
產(chǎn)品類型:ArF,KrF,XeCl,5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne,UN NO.: UN1956
閥門型號:CGA679,DIN 8,DIN 14
包裝:10L、16L、20L、49L、50L
準(zhǔn)分子激光氣為高壓充裝氣體,使用時應(yīng)經(jīng)減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限,凡到期的氣瓶必須送往有部門進(jìn)行安全檢驗,方能繼續(xù)使用。每瓶氣體在使用到尾氣時,應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa,最小不得低于0.25MPa余壓,應(yīng)將瓶閥關(guān)閉,以保證氣體質(zhì)量和使用安全。瓶裝氣體產(chǎn)品在運輸儲存、使用時都應(yīng)分類堆放,嚴(yán)禁可燃?xì)怏w與助燃?xì)怏w堆放在一起,不準(zhǔn)靠近明火和熱源,應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊,嚴(yán)禁在氣瓶身上進(jìn)行引弧或電弧,嚴(yán)禁野蠻裝卸。
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