產品名稱:四氟化碳 四氟化碳氣體 四氟甲烷 全氟化碳產品等級:分析純產品純度:99.999%包裝規(guī)格:40L
英文名稱:carbon tetrafluoride別名:TetrafluoromethaneCAS:75-73-0EINECS:200-896-5分子式:CF4分子量:88物化性質:-熔點:-184℃
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。1.可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應離子刻蝕時,通過調節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。2.在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。3.由于化學穩(wěn)定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。4.四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內,小白鼠仍可安全脫險。
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