丙硅烷是一種英文名稱為Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane的化學物質(zhì)。它的主要用途為半導體硅膜制造、非晶硅制造。
丙硅烷在常溫常壓下為可燃性有毒液體。它具有與硅烷類似的化學性質(zhì)，但其反應性比硅烷和乙硅烷更強。在空氣中能自燃。它在空氣中的爆炸范圍不詳，但是可以估計、比硅烷的爆炸范圍還大。因此，當把它與空氣接觸時，為安全起見，必須把濃度控制存0.1%以下。丙硅烷的熱穩(wěn)定性也比硅烷差，靠其放電能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水，不與酸反應，但能與堿反應生成硅酸和氫。與單體鹵素激烈反應。它無腐蝕性。
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