27804-64-4
中文名稱
雙(二乙基氨基)硅烷
英文名稱
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
CAS
27804-64-4
分子式
C8H22N2Si
分子量
174.359
MOL 文件
27804-64-4.mol
更新日期
2024/12/19 08:38:25
27804-64-4 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
雙(二乙基氨基)硅烷雙(二乙氨基)二氫硅烷
英文別名
BDEASamino)dihydrosiL
BIS(DIETHYLAMINO)SILANE
BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2
Bis(diethylamino)silane BDEAS
bis(diethylamino)dihydrosilane
Bis(diethylamino) Silane Liquid
Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
SilanediaMine, N,N,N',N'-tetraethyl-
所屬類別
有機(jī)原料：有機(jī)硅化合物物理化學(xué)性質(zhì)
沸點(diǎn)70°C (30mm)
密度0.804
酸度系數(shù)(pKa)10.31±0.70(Predicted)
形態(tài)液體
比重0.804
顏色無色
敏感性對(duì)空氣敏感，濕氣敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
常見問題列表
用途
雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅(qū)體材料。制備
目前作為二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷與二烷基胺的反應(yīng)而合成的方法中，除了目標(biāo)二烷基氨基硅烷以外，還大量副產(chǎn)二烷基胺的鹽酸鹽，因此在獲得目標(biāo)二烷基氨基硅烷時(shí)，需防止由于大量溶劑所造成的體積效率降低，從而廉價(jià)地大量制造。
作為使二烷基胺與氯硅烷反應(yīng)時(shí)的溶劑，使用對(duì)于反應(yīng)中所副產(chǎn)的二烷基胺的鹽酸鹽及金屬氯化物而言溶解度高的非質(zhì)子極性溶劑，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、難以溶解鹵素化合物的直鏈狀烴或分支狀烴，藉此可體積效率高地制造鹵素含量少的二烷基氨基硅烷。進(jìn)行精餾，此可獲得鹵素含量(氯)成分低的高品質(zhì)的二烷基氨基硅烷。現(xiàn)有專利及文獻(xiàn)技術(shù)所使用雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精餾方式，雙(二乙基氨基)硅烷純度難以超過99.99%。?健康危害
急性毒性 - 口服 - 類別3
急性毒性 - 吸入 - 粉塵/氣霧 - 類別4
急性毒性 - 吸入 - 蒸氣 - 類別4
急性毒性 - 吸入 - 氣體 - 類別4